窒化物半導体を用いた耐環境性水素ガスセンサーの開発

2013 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 23560380
• Research Institution: National Institute for Materials Science
• Principal Investigator: 色川 芳宏 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (90394832)
• Keywords: 水素

Research Abstract

平成２５年度は研究休止のため実績なし。

Current Status of Research Progress

4: Progress in research has been delayed.

Reason

平成２５年度に研究を休止したため。

Strategy for Future Research Activity

今後は予定していたように、水素と窒化物半導体デバイスとの相互作用について調べる。具体的には、（１）界面挿入層の影響、（２）結晶極性、に着目して試料温度を関数にとり、幅広い周波数において電気的特性をモニターすることによって水素とデバイスとの相互作用を調べる。また、水素以外のガスとの相互作用について調べることによって、デバイスの水素に対する選択性を実現する。また、デバイス動作温度および動作環境ガスの変化に対するデバイス特性変化を解析することによって、窒化物半導体デバイス全般の信頼性向上に関する知見を得る。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

平成２５年４月１日より内閣府総合科学技術会議へ出向のため（出向期間は平成２６年３月３１日まで）。
基板・結晶成長・電極金属・フォトマスクなどのデバイス作製に必要な材料経費等に費やす。