• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2012 Fiscal Year Research-status Report

UMS技術によるガラス材料評価法の開発

Research Project

Project/Area Number 23560494
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

荒川 元孝  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (00333865)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 櫛引 淳一  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 名誉教授 (50108578)
Keywords超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 超精密超音波計測 / 機能性ガラス / 石英ガラス / 構造解析
Research Abstract

ガラス材料は、添加物(ドーパント)を加えることにより屈折率や膨張率などの物理特性を大きく変えることが可能である。所望の特性を有するガラスを作製するためには、作製したガラスを適切に評価するための計測技術が重要である。本研究代表者らは、物質・材料の音響特性を非破壊・非接触的に定量計測する「超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)」技術の基礎研究および材料評価への応用に関する研究を進めている。
本研究の目的は、ガラス材料の分野における新しい評価技術としてUMS技術を用いた方法を確立することである。機能性材料として開発が進められている合成石英ガラス、フッ素ドープSiO2ガラス、結晶化ガラスを取り上げて、UMS技術により評価を行うとともに、従来のガラス材料評価法と比較することにより、ガラス材料評価法としての有用性を示す。さらに、ガラスの構造解析ツールへの発展を目指す。
本年度の成果は以下のとおりである。
[1] 石英ガラス:純粋な石英ガラスは、SiO2が100%であり、石英系ガラスの基本となる。石英ガラスの物性値は、仮想温度と不純物濃度に依存する。石英ガラスの音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響を明らかにした。光学用石英ガラスの音響特性と屈折率との間の関係を求めた。
[2] フッ素ドープ石英ガラス:SiO2ガラスにフッ素をドープするとSi-O-Sの結合が切断され、構造がより開放的になると考えられる。フッ素(F)をドープしたSiO2ガラスに対して、石英ガラスと同様に熱処理を行い、仮想温度と23℃における音響特性の関係を求めた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

石英ガラスとフッ素ドープ石英ガラスに対して、仮想温度を変えた試料の作製を進めた。また、それらの試料に対して、密度、縦波音速、漏洩弾性表面波速度の測定を行い、仮想温度と音響特性の間の関係を得ることができた。また、石英ガラスにおいては、屈折率と音響特性の関係を求め、音響特性が屈折率に対して非常に高い分解能を有していることを明らかにした。
フッ素濃度が高くなると構造緩和時間が短くなるため、熱処理の冷却時に構造緩和が進み、仮想温度が低下する。このため、フッ素濃度が高い試料に対しては、熱処理温度にかかわらず音響特性がほぼ一定になる結果が得られた。

Strategy for Future Research Activity

今年度までの結果を踏まえ、また、熱処理を行った石英ガラスとフッ素ドープ石英ガラス試料から線膨張係数(CTE)測定用の試料を用意し、押し棒式熱膨張計により、CTEの温度依存性を測定する。
また、結晶化ガラス試料に対しても、音響特性の周波数特性の測定を行い、結晶相の大きさと速度分散性、減衰係数の周波数特性の変化について議論する。
また、従来法として、蛍光X線分析法による化学分析、赤外吸光分光法、ラマン分光法による仮想温度の測定を行う。また、光学特性(屈折率、透過率)、ラマン散乱計測、ブリリュアン散乱計測による弾性率の測定、電子スピン共鳴装置による欠陥の測定を行い、UMS技術による音響特性との間の関係を比較する。
これらの結果をもとに、石英系ガラスの構造と音響特性の間の関係を議論する。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

該当なし

  • Research Products

    (8 results)

All 2013 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (7 results)

  • [Journal Article] Homogeneity improvement of TiO2-SiO2 glass synthesized by the soot method and its evaluation using the ultrasonic measurement system2013

    • Author(s)
      Masahiro Kawagishi, Junko Konishi, Masaaki Takata, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Jun-ichi Kushibiki
    • Journal Title

      Proc. SPIE

      Volume: 8679 Pages: -

    • DOI

      10.1117/12.2011655

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Development of Homogeneous TiO2-SiO2 Ultra-Low-Expansion Glass for Optical Cavities for Frequency Standards

    • Author(s)
      Jun-ichi Kushibiki, Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Frequency Control Symposium
    • Place of Presentation
      Baltimore, USA
  • [Presentation] Study on evaluation of F-doped silica glass by the ultrasonic microspectroscopy technology

    • Author(s)
      八島一哉, 荒川元孝, 丸山 由子, 櫛引淳一
    • Organizer
      電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      秋田県立大学(秋田県)
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスピー技術によるTiO2-SiO2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価

    • Author(s)
      荒川元孝, 大橋 雄二, 丸山 由子, 櫛引淳一,山田修史
    • Organizer
      電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • Place of Presentation
      弘前大学(青森県)
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法 -音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響-

    • Author(s)
      荒川元孝,大橋雄二, 丸山由子, 櫛引淳一, 堀越秀春, 森山賢二
    • Organizer
      超音波研究会
    • Place of Presentation
      秋田大学(秋田県)
  • [Presentation] TiO2-SiO2 ultra-low-expansion glasses for extreme ultraviolet lithography evaluated by ultrasonic zero-CTE temperature measurement system

    • Author(s)
      Mototaka Arakawa, Yuji Ohashi, Yuko Maruyama, Toshio Sannomiya, Kazuo Ishikawa, Jun-ichi Kushibiki, and Naofumi Yamada
    • Organizer
      2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • Place of Presentation
      Dresden, Germany
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの屈折率評価

    • Author(s)
      荒川元孝,櫛引淳一, 森山賢二,堀越秀春
    • Organizer
      第33回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      千葉大学(千葉県)
  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるTiO2-SiO2超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価法

    • Author(s)
      櫛引淳一, 荒川元孝, 大橋雄二, 山田修史
    • Organizer
      第60 回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学(神奈川県)

URL: 

Published: 2014-07-24  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi