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2012 Fiscal Year Research-status Report

金属/半導体界面における半導体欠陥構造とその周辺電位の直接観察

Research Project

Project/Area Number 23560795
Research InstitutionJapan Fine Ceramics Center

Principal Investigator

加藤 丈晴  一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員 (90399600)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 吉田 竜視  一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員 (50595725)
Keywords電子線ホログラフィー / ショットキー障壁 / 電位分布 / FIB
Research Abstract

金属電極/半導体界面のTEM観察用試料薄片化には異相界面の断面試料作製に最適なガリウム(Ga)イオンによる集束イオンビーム(FIB)法を用いるが、FIB法では、薄片化した試料の表面にダメージ層が形成さる。昨年度見出したFIB法による試料薄片化条件と、さらに薄片試料表面に形成されるFIBダメージ層除去条件に加え、本年度は、試料均一厚さを達成する試料薄片化とFIBダメージ除去条件を見出した。具体的には、各加工段階に置いて、Gaイオンビームの電流量はこれまでの条件で、比較的早めのスキャン速度(Gaイオンビームのデュウェルタイムを1~10μs)を採用した。この試料加工条件を用いて、NbドープSrTiO3バイクリスタル粒界を含み、針状サンプルを作製した。この針状サンプルについて、透過型電子顕微鏡(TEM)による高分解能観察と電子損失分光(EELS)による化学状態を評価した。高分解能観察から、SrTiO3の格子縞が観察された。EELS測定では、SrTiO3粒内のチタン(Ti)の価数が4価であり、本来の化学状態であることを確認した。さらに、加速電圧300kVで電子線ホログラムを撮影したところ、極めて鮮明な干渉縞を得ることができた。今後は、ピエゾ駆動の電圧印加ホルダーによりSrTiO3粒界領域に電圧を印加し、電流-電圧測定とともに、電子線ホログラフィーを用いて、SrTiO3粒界近傍の電位分布変化を測定する。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

NbドープSrTiO3バイクリスタル粒界を含み、針状サンプルを作製とともに、観察対象試料を均一厚さにする試料薄片化条件とFIBダメージ除去条件を見いだすことができた。この条件の場合、EELSの測定からSrTiO3のTiの価数が4価であるため、薄片化後もSrTiO3の構造を保っている。

Strategy for Future Research Activity

上記のような針状試料に仕上げたサンプルについて、ピエゾ駆動の電圧印加ホルダーによりSrTiO3粒界領域に電圧を印加し、電流-電圧測定とともに、電子線ホログラフィーを用いて、SrTiO3粒界近傍の電位分布変化を測定する。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

電子線ホログラフィーによるSrTiO3粒界の電位分布評価とともに、TEMサンプルに仕上げた針状サンプルもしくは、薄膜サンプルの3次元構造を解析する必要がある。そのため、H24年度未達分は、SrTiO3粒界の三次元構造を構築するための計算機を購入する。H25年度支給額分の研究費は当初の計画に沿って使用する。

  • Research Products

    (6 results)

All 2012

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (2 results)

  • [Journal Article] Characterization of microstructures of thermal oxide scales on silicon carbide using transmission electron microscopy2012

    • Author(s)
      B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki and K. Kuroda
    • Journal Title

      Journal of Ceramics Society of Japan

      Volume: vol.120 Pages: 64-68

  • [Journal Article] Oxidation kinetics of single crystal silicon carbide using electron microscopy2012

    • Author(s)
      B. Chayasombat, T. Kato, T. Hirayama, T. Tokunaga, K. Sasaki and K. Kuroda
    • Journal Title

      Journal of Ceramics Society of Japan

      Volume: vol.120 Pages: 181-185

  • [Journal Article] High-resolution observation of basal-plane C-core edge dislocations in 4H-SiC crystal by transmission electron microscopy2012

    • Author(s)
      H. Matsuhata, T. Kato, S. Tsukimoto and Y. Ikuhara
    • Journal Title

      Philos. Mag.

      Volume: vol.92 Pages: 3780-3788

  • [Journal Article] Domain formation in anatase TiO2 thin films on LaAlO3 substrates2012

    • Author(s)
      S. Zheng, C. A. J. Fisher, T. Kato, Y. Nagao, H. Ohta and Y. Ikuhara
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 101 Pages: 191602

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] ガリウムイオンダメージによるチタンの状態変化2012

    • Author(s)
      加藤 丈晴、吉田 竜視、平山 司
    • Organizer
      第44回東海若手セラミスト懇話会2012年夏期セミナー
    • Place of Presentation
      浜松
    • Year and Date
      20120628-20120629
  • [Presentation] Effect of dopants on mutual grain-boundary transport of aluminum and Oxgen in polycrystalline Al2O32012

    • Author(s)
      S. Kitaoka, T. Matsudaira, M. Wada, T. Hamanaka and T. Kato
    • Organizer
      The 3rd International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations (AMTC3)
    • Place of Presentation
      岐阜
    • Year and Date
      20120509-20120511

URL: 

Published: 2014-07-24  

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