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2011 Fiscal Year Research-status Report

収束イオンビームを用いたナノワイヤー熱電変換素子へのナノ電極形成・輸送特性の解明

Research Project

Project/Area Number 23560828
Research InstitutionSaitama University

Principal Investigator

長谷川 靖洋  埼玉大学, 理工学研究科, 准教授 (60334158)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 小峰 啓史  茨城大学, 工学部, 准教授 (90361287)
Project Period (FY) 2011-04-28 – 2014-03-31
Keywordsナノワイヤー熱電変換素子 / 収束イオンビーム / 電極接合 / 国際研究者交流(アメリカ)
Research Abstract

申請者が作製しているナノワイヤー熱電変換素子は、素子全体が石英ガラスで覆われており1)FIBからのGaイオンビームが直接Biナノワイヤーに照射されず,2)ワイヤー表面の酸化膜の影響を無視できる。そこで FIBを利用してナノワイヤー側部にナノ加工を行い、従来不可能であったナノワイヤー側面へ局所的な電極を取り付ける。 具体的な加工手順として、(1)円筒形の石英ガラスの片側をワイヤーとの距離3μm程度まで研磨によって削り落とす。(2) FIBを照射しつつ石英ガラスをスパッタリングしていく。ワイヤーと石英ガラスの厚さが約300nm程度になるとBiとガラスの二次電子放出率の違いにより、ワイヤーを全く露出させずワイヤー位置を予測することが可能となる。(3)予測したワイヤー位置の脇の石英ガラスをFIBによって除去し、(4)傾斜をかけ非常にゆっくりとFIBを照射する。(5)その結果、ワイヤーの側面が局所的に露出する。(6)局所的にワイヤー側部を露出させた後、FIBを用いてカーボン薄膜を蒸着し、電極接合を行う。(7)石英上部に予め電極パッドを成膜しておき、最終的にワイヤー側面部との配線を行う。以上の加工を収束イオンビームを用いて行い、電極接合を確認した。当初、FIB中の電極材料としてカーボンを選択して、カーボン配線を用いて導通を撮ろうとした所、予想以上に抵抗が大きくなり、電気測定を行う上では問題が残った。そのため、FIB加工後、局所的にカーボン電極を蒸着し、Bi表面が酸化しないようにし、大気解放してタングステン蒸着が扱えるFIBを用いて、タングステン配線を行った上で問題なく導通が得られることを実験的に確認した。 平成23年度は、米国の大学に渡航し集中して装置を利用し以上の加工プロセスを確立した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

当初予定したとおりに電極加工ができ、通電の確認も行った。電極接合手法の確立については、平成24年度を予定していたものの、前倒しで計画が実行できた。

Strategy for Future Research Activity

電極接合が可能となったため、平成24年度は実際にホール測定などを行う予定である。ここで、単結晶Biの物性値を使って評価すると、ナノワイヤー熱電変換素子を用いたホール電圧はワイヤーの直径に反比例するため、直径1μmでは数nV,直径100nmでは数十nVの電圧を測定する必要がある。通常の直流法では測定が困難であるため、直流磁場と数~数十ガウス程度の交流磁場を印加し、ロックインアンプを使った高感度交流磁場測定システムの開発を行い、サブnVの感度で電圧を測定するシステムを整備する。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

加工プロセスが確立したことから、月に1度程度、物質・材料研究機構,理化学研究所,東京大学が所有する収束イオンビームを利用することを予定しており、平成24年度の予算については、この装置利用料などに当てる予定である。

  • Research Products

    (8 results)

All 2012 2011

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (5 results)

  • [Journal Article] Thermoelectric propeties for single crystal bismuth nanowires using a mean free path limitation model2011

    • Author(s)
      Daiki Nakamura, Yasuhiro Hasegawa, Masayuki Murata, Hiroya Yamamoto, Takashi Komine
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 110 Pages: 053702 1-6

    • DOI

      10.1063/1.3630014

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Crystal orientation and transport properties of a 633-nm-diameter bismuth nanowire2011

    • Author(s)
      Yasuhiro Hasegawa, Daiki Nakamura, Masayuki Murata, Hiroya Yamamoto, Takashi Komine, Takashi Taguchi and Shinichiro Nakamura
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials

      Volume: 40 Pages: 1005-1009

    • DOI

      10.1007/s11664-010-1480-1

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Reduction of temperature fluctuation within low temperature region using a cryocooler2011

    • Author(s)
      Daiki Nakamura,Yasuhiro Hasegawa, Masayuki Murata, HiroyaYamamoto, Fumiaki Tsunemi, Takashi Komine
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments

      Volume: 82 Pages: 044903 1-4

    • DOI

      10.1063/1.3581211

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 石英ガラス中のBiナノワイヤー上へのホール測定用局所電極の形成2012

    • Author(s)
      村田正行,山本浩也,常見文昭,長谷川靖洋,小峰啓史
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学
    • Year and Date
      2012-03-17
  • [Presentation] 集束イオンビーム加工を利用したBiナノワイヤー熱電変換素子の4端子測定2011

    • Author(s)
      村田 正行、山本 浩也、常見 文昭、長谷川 靖洋、小峰 啓史
    • Organizer
      第八回日本熱電学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2011年8月9日
  • [Presentation] Four- wire resistance measurements on bismuth nanowire encased in quartz template utilizing focused ion beam processing2011

    • Author(s)
      Masayuki Murata, Daiki Nakamura, Hiroya Yamamoto, Fumiaki Tsunemi, Yasuhiro Hasegawa, Takashi Komine
    • Organizer
      30th International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      Grand Traverse Resort Traverse City, Michigan USA
    • Year and Date
      2011年7月19日
  • [Presentation] 単結晶ビスマスナノワイヤーのShubnikov-de Haas振動2011

    • Author(s)
      常見文昭,村田正行,長谷川靖洋,小峰啓史,遠藤彰
    • Organizer
      日本物理学会秋季大会
    • Place of Presentation
      富山大学
    • Year and Date
      2011-09-23
  • [Presentation] ビスマスナノワイヤーの量子化磁場下での熱電特性の理論計算2011

    • Author(s)
      平山尚美,遠藤彰,藤田和博,長谷川靖洋,羽田野直道,中村浩章,白崎良演,米満賢治
    • Organizer
      日本物理学会秋季大会
    • Place of Presentation
      富山大学
    • Year and Date
      2011-09-23

URL: 

Published: 2013-07-10  

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