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2012 Fiscal Year Research-status Report

収束イオンビームを用いたナノワイヤー熱電変換素子へのナノ電極形成・輸送特性の解明

Research Project

Project/Area Number 23560828
Research InstitutionSaitama University

Principal Investigator

長谷川 靖洋  埼玉大学, 理工学研究科, 准教授 (60334158)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 小峰 啓史  茨城大学, 工学部, 准教授 (90361287)
Keywordsナノワイヤー / 熱電変換 / ナノ加工
Research Abstract

申請者が作製しているナノワイヤー熱電変換素子は、素子全体が石英ガラスで覆われており1)FIBからのGaイオンビームが直接Biナノワイヤーに照射されず,2)ワイヤー表面の酸化膜の影響を無視できる。そこでFIBを利用してナノワイヤー側部にナノ加工を行い、従来不可能であったナノワイヤー側面へ局所的な電極を取り付けることが該当年度の目標であった。
基本的に石英ガラス中に埋め込まれた形をとるナノワイヤー熱電変換素子に電極を取り付けるためには、ミリスケールの石英部分を除去し、さらにナノスケールでBi上へ加工が必要である。FIBによるGaイオンビームをBi上に照射すると昇華することが知られており、プロセスの開発は困難であることが予想されたものの、石英ガラスをバリア層として利用する手法をとり、局所的に石英ガラスを取り除き、その部分に電子ビームデポジションによる方法でカーボンもしくはタングステン電極の取り付けに成功した。この手法を用いて、直径4μmのBiワイヤーを使ってホール測定を行うことに初めて成功した。直径がまだマイクロサイズであるために、常温付近で評価された移動度についてはバルク素子と同様であったものの、測定が問題なく行えていることの証明にもなった。その結果を受け、直径521nmのナノワイヤー熱電変換素子を用いて、4端子測定電極の作製を行った。ワイヤー直径が小さくなると、素子自体の持つ抵抗が数kΩになるため、2端子法でも測定が問題ないと予想されていたものの、4端子法との比較によって、接触抵抗が無視できないことが明らかになった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

直径4μmのマイクロワイヤーではあるものの、その場電極形成やホール測定に成功しており、同様のその場電極形成は直径521nmのナノワイヤー熱電変換素子にも適応済みである。その場電極形成中に問題点が明らかになっているが、それは使用している装置の特性であり、他の装置を利用することによって問題を解決することも明らかになっている。

Strategy for Future Research Activity

今年度はナノワイヤーを用いたホール測定を行っていく予定である。昨年度はナノワイヤー上への局所電極形成にカーボン電極を用いていたが、アモルファス上であることから接触抵抗が極めて大きく問題であった。このため、局所電極形成にタングステンを用いて、接触抵抗を減らすことを計画している。既に何本かのナノワイヤーで接触抵抗が2桁程度減少可能であることが明らかになっている。また、ワイヤー直径が小さくなると得られるホール電圧が少ないことから、電流と磁場の変調を用いてホール電圧をS/N良く得るための準備を進めている。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

どうしてもナノ加工に時間と予算が取られてしまうことになる。研究中で使用している収束イオンビームは物資材料研究機構ならびに東京大学のものを利用しており、装置利用料として多く予算を確保したいと考えている。
またホール測定用のロックインアンプを購入することを想定して、平成24年度の予算の大部分を持ち越した経緯がある。

  • Research Products

    (16 results)

All 2013 2012 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (8 results) (of which Invited: 1 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] Thermal conductivity of an individual bismuth nanowire covered with a quartz template using a 3-omega technique2013

    • Author(s)
      Yasuhiro Hasegawa, Masayuki Murata, Fumiaki Tsunemi, Yusuke Saito, Katsuhito Shirota, Takashi Komine, Chris Dames, Javier E. Garay
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials

      Volume: Vol. 42 Pages: 2048-2055

  • [Journal Article] Shubnikov-de Haas oscillations in individual single-crystal bismuth nanowires encased in quartz template2013

    • Author(s)
      Fumiaki Tsunemi, Masayuki Murata, Yusuke Saito, Katsuhito Shirota, Yasuhiro Hasegawa, Takashi Komine
    • Journal Title

      Applied Physics Expres

      Volume: 6 Pages: 045002

    • DOI

      10.7567/APEX.6.045002

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Dependence of Temperature coefficient of electric resistivity on individual and single-crystal bismuth nanowire2013

    • Author(s)
      Masayuki Murata, Fumiaki Tsunemi, Yusuke Saito, Katsuhito Shirota, Keisuke Fujiwara,Yasuhiro Hasegawa,Takashi Komine
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials

      Volume: 42 Pages: 2143-2150

    • DOI

      10.1007/s11664-013-2552-9

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Four-Wire Resistance Measurements of a Bismuth Nanowire Encased in a Quartz Template Utilizing Focused Ion Beam Processing2012

    • Author(s)
      Masayuki Murata, Hiroya Yamamoto, Fumiaki Tsunemi, Yasuhiro Hasegawa and Takashi Komine
    • Journal Title

      Journal of Electronic Materials

      Volume: Vol. 41 Pages: 1442-1449

  • [Journal Article] Preparation of bismuth nanowire encased in quartz template for Hall measurements using focused ion beam processing2012

    • Author(s)
      Masayuki Murata, Yasuhiro Hasegawa, Takashi Komine and Tomohiro Kobayashi
    • Journal Title

      Nanoscale Research Letters

      Volume: 7 Pages: 505

    • DOI

      10.1186/1556-276X-7-505

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] A process for thermal conductivity measurement of an individual bismuth nanowire in quartz template2012

    • Author(s)
      Yasuhiro Hasegawa, Masayuki Murata, Fumiaki Tsunemi, Takashi Komine, Chris Dames, Javier E. Garay
    • Organizer
      31th International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      デンマーク・オーボルー
    • Year and Date
      20120708-12
  • [Presentation] Dependence of temperature coefficient of resistivity on individual and single-crystal bismuth nanowires2012

    • Author(s)
      Masayuki Murata, Fumiaki Tsunemi, Yasuhiro Hasegawa and Takashi Komine
    • Organizer
      31th International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      デンマーク・オーボルー
    • Year and Date
      20120708-12
  • [Presentation] Numerical analysis of boundary scattering effect on transport properties in a Bi-Sb nanowire2012

    • Author(s)
      Yuta Nabatame, Tsuyoshi Matsumoto, Yuki Ichige, Takashi Komine, Ryuji Sugita, Masayuki Murata, Yasuhiro Hasegawa
    • Organizer
      31th International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      デンマーク・オーボルー
    • Year and Date
      20120708-12
  • [Presentation] Biナノワイヤー上へのホール測定用局所電極の作製と評価

    • Author(s)
      村田正行,常見文昭,齋藤佑介,代田雄人,藤原啓資,長谷川靖洋,小峰啓史
    • Organizer
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] 石英テンプレート中のBiナノワイヤー熱伝導率測定法の開発

    • Author(s)
      長谷川靖洋,常見文昭,村田正行,齋藤佑介,代田雄人,小峰啓史,Dames Chris
    • Organizer
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] 石英ガラス封入単結晶Biナノワイヤ熱電変換素子の開発動向

    • Author(s)
      長谷川靖洋
    • Organizer
      ナノワイヤ研究グループ第1回研究会(応用物理学会ナノワイヤ研究グループ主催)
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Invited
  • [Presentation] Biナノワイヤー熱電変換素子の抵抗率の温度依存性

    • Author(s)
      村田正行,常見文昭,長谷川靖洋,小峰啓史
    • Organizer
      第9回熱電学会学術講演会
    • Place of Presentation
      東工大
  • [Presentation] Biナノワイヤー熱電変換素子のShubnikov-de Hass振動測定

    • Author(s)
      常見文昭,村田正行,長谷川靖洋,小峰啓史,遠藤彰
    • Organizer
      第9回熱電学会学術講演会
    • Place of Presentation
      東工大
  • [Remarks] 長谷川靖洋のホームページ

    • URL

      http://www.env.gse.saitama-u.ac.jp/hasegawa/index-j.html

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 熱電変換素子の電極形成方法2013

    • Inventor(s)
      長谷川靖洋
    • Industrial Property Rights Holder
      埼玉大学長
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2013-019838
    • Filing Date
      2013-02-04
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 熱電変換モジュール2013

    • Inventor(s)
      長谷川靖洋,村田正行
    • Industrial Property Rights Holder
      埼玉大学長
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2013-019839
    • Filing Date
      2013-02-04

URL: 

Published: 2014-07-24  

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