2012 Fiscal Year Annual Research Report

ビルドアップ法による大面積高機能ピクセル検出器の製作手法の確立

Research Project

Project/Area Number	23654084
Research Institution	Kobe University
Principal Investigator	身内賢太朗神戸大学, 理学(系)研究科(研究院), 准教授 (80362440)
Keywords	放射線検出器 / ガス検出器 / 半導体実装 / ビルドアップ法
Research Abstract	高集積化によって小型化の進む放射線検出器用集積回路によって大型のガス検出器を読み出すため、低温焼結セラミック基板、スクリーン印刷、ディスペンサーによる描画という3つの手法によるピクセル型読み出し電極製作の手法確立を目指した。セラミック基板に関しては平面度についてバンプボンディングに対する要請をクリア、スクリーン印刷では細線描画という成果により、現状の問題点をクリアした。ディスンペンサーを用いたビルドアップ法では、最適な使用材料の選択、ピクセル形状電極の形成、およびストリップ状電極によるガス検出器からの信号読み出しを行い、ビルドアップ法によるピクセル電極製作手法の原理実証に至った。