2013 Fiscal Year Research-status Report
連続供給固体希ガスターゲットによるレーザープラズマ真空紫外光源の研究
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23654204
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| Research Institution | University of Hyogo |
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Principal Investigator |
天野 壮 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (50271200)
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| Keywords | レーザープラズマ光源 / 真空紫外 / 軟X線 / 希ガス / 極低温 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、真空紫外領域で今までに無い波長をカバーする新型の高効率・高輝度・高平均出力の連続発生レーザープラズマ 光源を開発する事である。現在、真空紫外からX線領域の光源として加速器放射光施設が使われているが、装置が大きくコストも高いため、産業応用上代替えの光源が求められているからである。 プラズマターゲット材としては冷却固化した希ガスを選んだ。希ガスは、プラズマ化した際の光源周辺の光学系に付着しないというデポジションフリーターゲットであり、 いわゆる「プラズマデブリ問題」が少ない。そのため連続運転が出来て産業応用上優位である。また発光効率を上げるために固化して密度を上げる事とした。これを実現するために、ほとんどすべての気体、液体材料を冷却固化でき、これをレーザー照射点に連続供給するターゲ ット装置の開発を行った。ターゲット連続供給する駆動物を極低温にしてこれを維持するというのが技術的課題であったが解決できた。即ち、冷却装置としては~10Kまで冷やせるヘリウムクライオスタットを用いて上下動するターゲット版を冷却、そこに吹き付けられたターゲットガスを冷却固化して連続供給する事が可能となった。前年度までに、キセノン、クリプトンターゲットでプラズマ連続発生に成功しており、今年度は動作パラメータを詳細に検討することにより、アルゴンターゲットでの連続プラズマ発生にも成功、デザイン則が確立できた。また、前年度までに整備が行われた真空紫外分光システムを用いて、それらのプラズマ発光特性も調べた。以上の成果により最終年度は、発光条件の最適化などを行い、真空紫外光連続発生レーザープラズマ光源としての特性を確定し完成させる。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
ほぼ当初の計画どおり研究は達成されていたが、最後に計画していたプラズマの真空紫外発光計測に必要な特注ミラーが、製造メーカーのミスにより納入が大幅に遅れて期間内に測定が完遂できなくなってしまった。
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| Strategy for Future Research Activity |
残されたプラズマの真空紫外発光計測とその発光条件の最適化を行って真空紫外光連続発生レーザープラズマ光源としての性能を確定し完成させる。また、得られた成果を公表する。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
本研究は真空紫外という今までにあまり一般的ではない波長領域の新しい光源の研究である。そのため本研究の遂行に必要な光学ミラーも試作要素が入った特注品であり、対応メーカーが一社しかなかった。このミラーの納品予定がメーカーのミスにより大幅に遅れ、これを用いた実験を当該年度中に終了できなかった。そのため、本研究の成果のまとめと公表が遅れて、それに係る予定額が残った。
本研究成果のまとめと報告に必要な経費（論文代、学会旅費等）に充当する。
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Research Products
(1 results)
