2012 Fiscal Year Annual Research Report
エバネッセント光を用いた超精密切削加工における工具－工作物接触状態の直接的検出
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23656098
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
吉岡 勇人 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
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| Keywords | 超精密加工 / 接触状態 / エバネッセント光 / 工具 / 工作物 / 非接触 / ダイヤモンド |
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| Research Abstract |
平成２４年度は，前年度基本原理を確認した提案手法の実システムへの応用を目的として，装置の組み込みおよび評価実験に取り組んだ．
（１） 金属球を工作物とした場合の有効性は前年度確認できたため，工作物材料を変更しその適用範囲を検討した．その結果，得られる変化の絶対量は異なるものの，黒色の低反射率材料，光透過性のガラス材料などに対しても同様の出力変化傾向が得られることを確認した．
（２） 実際の超精密加工機に組み込み検証実験を行うため，エバネッセント光を発生する条件を満たす形状のダイヤモンド工具を設計および製作し，検出光学系とともに実際の超精密加工機へ組み込みシステムを構築した．
（３） 実際の加工環境において評価を行った結果，工具と工作物の接触前に出力信号が変化することを確認した．これにより本原理を用いることで，従来は必ず接触痕が残っていた接触検知に対して，接触前に非接触で相対距離に依存した信号を得ることが可能であることを確認した．
（４） さらに加工中の信号出力について評価した結果，切りくず排出状態に対応した信号挙動が得られる可能性があることを明らかにした．これは工具と工作物の接触状態が切りくず排出に大きく影響していることが原因と考えられる．
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Research Products
(2 results)
