2012 Fiscal Year Annual Research Report
ダイヤモンドパワーデバイス製作のための超平坦面創成プロセスの開発
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23656110
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| Research Institution | Kumamoto University |
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Principal Investigator |
久保田 章亀 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (80404325)
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| Keywords | 精密研磨 / 精密部品加工 / ダイヤモンド / 先端機能デバイス |
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| Research Abstract |
ダイヤモンドは，硬度，高伝導率，絶縁特性，耐環境性に優れた特性を有し，高耐圧，低損失，高速動作を可能とする冷却フリーな次世代省エネルギーパワーデバイス用材料として期待されている．しかしながら，ダイヤモンドは，物質中で最高の硬度を有し，熱的・化学的に極めて安定であることから，その加工は困難であり，ダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発が急務となっている．
本研究では，ダイヤモンドパワーデバイスの実現に向けて，常温・常圧の溶液環境下における化学反応を効果的に利用した，安全で低コストなダイヤモンド基板の加工方法を提案・開発し，デバイス製作時に必要とされるダメージフリーな高品位ダイヤモンド面を創成することを目的としている．
平成24年度は，前年度に得られた成果をもとに，ダイヤモンド基板全面の平坦化の実現と加工能率・加工精度の向上に向けた実験的検討を行った．加工装置のサンプル保持具の改良によって，ダイヤモンド基板全面の平坦化に成功するとともに，加工表面の表面粗さをPV:1nm，RMS：0.1nm以下（原子間力顕微鏡での測定結果）のレベルにまで平滑坦化することができた．また，ダイヤモンドの加工能率の向上についても実験的に検討し，その可能性を見出した．
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