• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2013 Fiscal Year Final Research Report

Molecular simulation of pattern formation in electron beam lithography

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 23656245
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeMulti-year Fund
Research Field Electron device/Electronic equipment
Research InstitutionOsaka Prefecture University

Principal Investigator

YASUDA Masaaki  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30264807)

Project Period (FY) 2011 – 2013
Keywords電子線リソグラフィ / モンテカルロ法 / 分子動力学法 / 電子線露光 / 現像 / レジスト
Research Abstract

We developed molecular simulation to investigate the pattern formation in electron beam lithography. We introduced the effect of electron exposure by the chain scission of the polymer molecules. The breaking positions in the polymer chain are randomly selected. The chain scission rate is set proportional to the absorbed energy distribution in the polymer materials calculated by the Monte Carlo simulation of the electron scattering. In the development process, the small segments of polymer molecules are removed from the resist structure. Our present simulation revealed the typical structure of atomic scale line edge roughness and electron irradiation damage of the sample.

  • Research Products

    (13 results)

All 2014 2013 2012 2011

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (11 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] トップダウンナノ加工のシミュレーションとナノ空間創生2014

    • Author(s)
      安田雅昭, 多田和広, 平井義彦
    • Journal Title

      機能材料

      Volume: Vol.34 Pages: 41-49

  • [Journal Article] Molecular Simulation of Pattern Formation in Electron Beam Lithography2013

    • Author(s)
      M. Yasuda, H. Sakai, R. Takai, H. Kawata, Y. Hirai
    • Journal Title

      Microelectronic Engineering

      Volume: Vol.112 Pages: 287-290

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 電子線リソグラフィの分子シミュレーション(2)2014

    • Author(s)
      道下勝司, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      相模原
    • Year and Date
      2014-03-18
  • [Presentation] Electron Beam Lithography Simulation for Nanometer-scale Patterning2013

    • Author(s)
      K. Michishita, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai
    • Organizer
      2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Place of Presentation
      Sapporo, Japan
    • Year and Date
      2013-11-06
  • [Presentation] 電子線リソグラフィにおけるラインエッジラフネスの分子動力学解析(2)2013

    • Author(s)
      道下勝司, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第18回分子動力学シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2013-05-17
  • [Presentation] 電子線リソグラフィの分子シミュレーション2013

    • Author(s)
      道下勝司, 高井里奈, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      厚木
    • Year and Date
      2013-03-28
  • [Presentation] 電子線リソグラフィにおけるパターン形成の分子シミュレーション2012

    • Author(s)
      高井里奈, 酒井裕史, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第53回真空に関する連合講演会
    • Place of Presentation
      神戸
    • Year and Date
      2012-11-15
  • [Presentation] Molecular Dynamics Study of Pattern Formation in Electron Beam Lithography2012

    • Author(s)
      M. Yasuda, H. Sakai, H. Kawata, Y. Hirai
    • Organizer
      38th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2012
    • Place of Presentation
      Toulouse, France
    • Year and Date
      2012-09-17
  • [Presentation] 電子線リソグラフィにおけるラインエッジラフネスの分子動力学解析2012

    • Author(s)
      酒井裕史, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第17回分子動力学シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2012-06-05
  • [Presentation] Molecular Simulation of Electron-Irradiation Damages in Resist Materials2012

    • Author(s)
      M. Yasuda, K. Araki, H. Sakai, H. Kawata, Y. Hirai
    • Organizer
      Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication
    • Place of Presentation
      Hawaii, USA, MAY 30
    • Year and Date
      2012-05-30
    • Invited
  • [Presentation] SEM 観察における有機高分子試料の構造変化解析2012

    • Author(s)
      安田雅昭, 荒木康誠, 酒井裕史, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第68回学術講演会
    • Place of Presentation
      つくば
    • Year and Date
      2012-05-14
  • [Presentation] 分子動力学法による有機高分子材料の電子線照射損傷の解析2012

    • Author(s)
      荒木康誠, 酒井裕史, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第58回応用物理学会関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2012-03-16
  • [Presentation] 有機高分子試料への電子ビーム照射の分子シミュレーション(2)2011

    • Author(s)
      荒木康誠, 酒井裕史, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦
    • Organizer
      第52回真空に関する連合講演会
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2011-11-16

URL: 

Published: 2015-06-25  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi