2013 Fiscal Year Annual Research Report
イオンビームを利用したフォトレジストレス磁性ナノパターニング法の開発
| Project/Area Number |
23656592
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| Research Institution | Osaka Prefecture University |
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Principal Investigator |
岩瀬 彰宏 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60343919)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松井 利之 大阪府立大学, 21世紀科学研究機構, 教授 (20219372)
佐藤 隆博 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 (10370404)
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| Keywords | イオンビーム / 磁性改質 / 鉄ロジウム合金 / 深部磁性改質 / SQUID磁束計 / 磁気力顕微鏡（MFM) |
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| Research Abstract |
イオンスパッタ法により作成したFeRh薄膜、およびインゴットから切り出したFeRhバルク試料の磁性のイオン照射効果を引き続き実施した。バルク試料に関しては、高エネルギー軽イオン（H,He)照射による深部磁性改質を試みた。SQUD磁束計による磁化測定とTRIM計算により、試料表面から約10マイクロｍの深さに幅1μｍ程度の強磁性領域の発現を確認した。現在、磁化の深さ方向依存性に関して、MFM顕微鏡を用いて確認中である。また、イオンビームによる磁性変化をより効果的に行うため、FeRh薄膜試料において、単原子イオンでなく、原子が数個集合した高エネルギークラスターイオンを用いる照射実験も試みた。その結果、おなじ総エネルギー付与で比較しても、クラスターイオンを照射したほうが、単原子イオンを照射した場合より大きな磁化が得られ、また結晶配列の乱れを定量的に示す規則度も、クラスタービームのほうが大きく低下することも判明した。これは、結晶格子の乱れと強磁性発現が直接的な相関を持つことを示した重要な結果である。さらに、イオン照射による結晶構造変態により、FeRhバルク試料の硬度も系統的に変化することも見出した。
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[Journal Article] Study on ferromagnetic ordering of FeRh thin films induced by energetic heavy ion irradiation by means of X-ray Magnetic Circular Dichroism2013
Author(s)
Aikoh, Kazuma; Tohki, Atsushi; Okuda, Shuichi, Yuichi Saitoh,Tomihiro Kamiya, Tetsuya Nakamura, Toyohiko Kinoshita, Akihiro Iwase, Toshiyuki Matsui,
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Journal Title
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Volume: 314
Pages: 9-102
DOI
Peer Reviewed
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[Presentation] Magnetic Patterning of FeRh Thin Films by Energetic Light Ion Microbeam Irradiation and their XMCD-PEEM Observation2013
Author(s)
Tetsuya Koide, Takahiro Satoh, Masashi Kohka, Yuichi Saitoh, Tomihiro Kamiya, Takuo Ohkouchi, Masato Kotsugi, Toyohiko Kinoshita, Tetsuya Nakamura, Akihiro Iwase and Toshiyuki Matsui
Organizer
The 2013 JSAP-MRS Joint Symposiam
Place of Presentation
kyoto, Japan
Year and Date
20130916-20130920
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