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2012 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシン技術を用いた革新的な宇宙X線望遠鏡の開発実証

Research Project

Project/Area Number 23684009
Research InstitutionTokyo Metropolitan University

Principal Investigator

江副 祐一郎  首都大学東京, 理工学研究科, 助教 (90462663)

Project Period (FY) 2011-04-01 – 2014-03-31
KeywordsX線天文学 / X線望遠鏡 / マイクロマシン
Research Abstract

本研究では、これまで世界最軽量級であった日本のすざく衛星のX線望遠鏡を2桁軽量化しつつ、角度分解能を1桁改善した、「1000 平方cm の有効面積と10秒角の角度分解能を備えた kg クラスの世界最軽量X線望遠鏡」を目的とする。具体的には(1)シリコンドライエッチングプロセスによる軽量X線反射用の微細構造の製作、(2)X線LIGAプロセスを用いた軽量X線反射用の金属微細構造の製作、(3)磁気流体を用いたエッチング面の研磨、(4) シリコン高温アニールを用いたシリコンエッチング面の平滑化、(5) 塑性変形もしくは弾性変形による高精度の変形、(6) 原子層堆積法を用いた側壁への重金属膜付けを行う。完成する望遠鏡は我々のオリジナルである。
我々は今年度、(A) シリコン2段望遠鏡の組み立てとX線性能評価、(B) シリコン望遠鏡1段分の側壁平坦性の改善、(C) 性能評価のためのX線ビームラインへのCCDの導入と光線追跡プログラムの構築、(D) 惑星探査ミッションに向けた光学系デザインを含めた装置検討などに取り組んだ。
これらの成果に関連して、国内学会で7件の発表と2件の招待講演を行った。また国際学会で4件の発表と1件の招待講演を行った。また3本の査読付論文が出版された。さらに1件の解説記事を学会誌に掲載し、1件の特許を出願した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

当初予定の通り、今年度は4インチシリコン2段望遠鏡の性能評価、4インチシリコン望遠鏡1段分の性能向上に成功した。さらにこれらの成果に加えて、X線CCDを用いた評価システムと光線追跡プログラムの構築、探査衛星の光学系デザインを含む装置設計を行ったほか、世界最大級となる12インチシリコン基板を用いた望遠鏡1段分の試作や、4インチ基板用の磁気流体研磨装置の立ち上げも行った。目標とする角度分解能および有効面積を達成するための、要素技術の性能改善は引き続き必要であるが、このように一連の目標以上の技術に目処を付けることができてきているため、本研究は当初の計画以上に進展していると考えている。

Strategy for Future Research Activity

まずはシリコンドライエッチングを用いた望遠鏡1段分の性能向上に向けて、新たに産総研が所有する最先端のエッチング装置を使用し、側壁の平坦性の向上を狙う。現在の側壁平坦性から見積もられる角度分解能は分角程度であるが、これを秒角台に持って行くことを目指す。また高温塑性変形の条件出しによる鏡配置精度の向上や、新たな側壁の平滑化プロセスも試して、より良い角度分解能を目指す。さらにシリコン2段望遠鏡の試作品第一号機を用いて行ったX線実験の結果をフィードバックして、組立装置を改良し、より高精度の位置合わせを行って、性能を上げる。こうした技術開発と平行して、将来ミッションへの本望遠鏡を用いた装置の提案と検討も引き続き行って、検討を深める。そのために望遠鏡に対して、打ち上げ時の振動・衝撃やデブリの影響などを見るための環境試験も計画し、技術成熟度を高めてゆくことを目指す。

  • Research Products

    (19 results)

All 2013 2012 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (14 results) (of which Invited: 3 results) Book (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] JUXTA: a new probe of X-ray emission from the Jupiter system2013

    • Author(s)
      Y. Ezoe et al.,
    • Journal Title

      Adv. Space Res.

      Volume: 51 Pages: 1605-1621

    • DOI

      10.1016/j.asr.2012.11.029

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic Field Assisted Finishing of Silicon MEMS Micropore X-ray Optics2012

    • Author(s)
      R. Riveros et al.,
    • Journal Title

      J. Manufacturing Science and Engineering

      Volume: 134 Pages: 051001-1~7

    • DOI

      10.1115/1.4006967

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics for space astronomy2012

    • Author(s)
      I. Mitsuishi et al.,
    • Journal Title

      Sensors & Actuators

      Volume: 188 Pages: 411-416

    • DOI

      10.1016/j.sna.2012.02.042

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 将来衛星に向けた超軽量 MEMS X線光学系の高分解能化の研究2013

    • Author(s)
      小川智宏ほか
    • Organizer
      応用物理学会 春季年会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
    • Year and Date
      20130327-20130330
  • [Presentation] マイクロマシン技術を用いた Wolter I型宇宙X線望遠鏡の開発 (1)2013

    • Author(s)
      生田昌寛ほか
    • Organizer
      応用物理学会 春季年会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
    • Year and Date
      20130327-20130330
  • [Presentation] マイクロマシン技術を用いた Wolter I型宇宙X線望遠鏡の開発 (2)2013

    • Author(s)
      三石郁之ほか
    • Organizer
      応用物理学会 春季年会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
    • Year and Date
      20130327-20130330
  • [Presentation] 将来衛星に向けた超軽量・高角度分解能 MEMS X線光学系の開発2013

    • Author(s)
      垣内拓也ほか
    • Organizer
      第13回宇宙科学シンポジウム
    • Place of Presentation
      JAXA 宇宙科学研究所
    • Year and Date
      20130108-20130109
  • [Presentation] Planetary magnetospheres and their solar wind interaction observed in X-rays: Past, present and future2012

    • Author(s)
      Y. Ezoe
    • Organizer
      Geotail-20 workshop
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Year and Date
      20121112-20121114
    • Invited
  • [Presentation] SWCX のサイエンスと太陽系探査2012

    • Author(s)
      江副祐一郎
    • Organizer
      複合的アプローチで探る宇宙の化学進化
    • Place of Presentation
      ホテル伊豆高原
    • Year and Date
      20121026-20121027
    • Invited
  • [Presentation] 将来木星探査衛星を目指す X線撮像分光装置 JUXTA の検討2012

    • Author(s)
      江副祐一郎ほか
    • Organizer
      天文学会 秋季年会
    • Place of Presentation
      大分大学
    • Year and Date
      20120919-20120922
  • [Presentation] 将来衛星に向けた超軽量・高角度分解能新MEMS X線光学系の基礎開発(5)2012

    • Author(s)
      垣内拓也ほか
    • Organizer
      応用物理学会 秋季年会
    • Place of Presentation
      愛媛大学
    • Year and Date
      20120911-20120914
  • [Presentation] Ir 膜付け MEMS X 線 光学系の反射率測定2012

    • Author(s)
      小川智弘ほか
    • Organizer
      応用物理学会 秋季年会
    • Place of Presentation
      愛媛大学
    • Year and Date
      20120911-20120914
  • [Presentation] MEMS-based novel X-ray optics for future astronomical missions2012

    • Author(s)
      I. Mitsuishi et al.,
    • Organizer
      OPTICAL MEMS & NANOPHOTONICS CONFERENCE
    • Place of Presentation
      Banff, Canada
    • Year and Date
      20120806-20120809
  • [Presentation] Assembly of a MEMS-based Wolter type-I x-ray optic2012

    • Author(s)
      T. Kakiuchi et al.,
    • Organizer
      OPTICAL MEMS & NANOPHOTONICS CONFERENCE
    • Place of Presentation
      Banff, Canada
    • Year and Date
      20120806-20120809
  • [Presentation] X-ray reflectivity measurement of a iridium coated MEMS optic with atomic layer deposition2012

    • Author(s)
      T. Ogawa et al.,
    • Organizer
      OPTICAL MEMS & NANOPHOTONICS CONFERENCE
    • Place of Presentation
      Banff, Canada
    • Year and Date
      20120806-20120809
  • [Presentation] MEMS技術を用いた超軽量・高角度分解能 次世代X線望遠鏡の開発

    • Author(s)
      三石郁之
    • Organizer
      補償光学会議
    • Place of Presentation
      国立天文台
    • Invited
  • [Presentation] Ultra-Lightweight and High-Performance MEMS-based X-ray Optics for Future Astronomical Missions

    • Author(s)
      I. Mitsuishi et al.,
    • Organizer
      JSPE International Symposium
    • Place of Presentation
      東京工業大学
  • [Book] 砥粒加工学会誌2012

    • Author(s)
      江副 祐一郎
    • Total Pages
      4
    • Publisher
      砥粒加工学会
  • [Patent(Industrial Property Rights)] X 線反射装置及びその製造方法2013

    • Inventor(s)
      倉島優一 ほか
    • Industrial Property Rights Holder
      倉島優一 ほか
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特許出願 2013-014320
    • Filing Date
      2013-01-29

URL: 

Published: 2014-07-24  

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