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2013 Fiscal Year Annual Research Report

表面プラズモン超集束を用いた高密度光制御電子源アレイの開発

Research Project

Project/Area Number 23686016
Research InstitutionTokyo University of Agriculture and Technology

Principal Investigator

岩見 健太郎  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80514710)

Project Period (FY) 2011-04-01 – 2015-03-31
Keywordsプラズモニクス / MEMS / マイクロシステム / 電子ビーム / メタサーフェス
Research Abstract

電子線リソグラフィや電子顕微鏡検査の高速化のため、超並列微小電子源の開発が喫近の課題となっている。しかし、多数並んだ電子源を電気的に個別制御することが難しく、実現に至っていない。本申請では「プラズモン超収束電子源」の確立を通してこの課題を解決することを試みた。そのため、25年度には下記の課題に取り組んだ。
I.電子ビームリソグラフィへの応用(小規模電子源)
II.裏面光照射により動作するプラズモン共鳴電子源アレイの製作(大規模)
然しながら、目的のIに関し、プラズモン導波時のエネルギ散逸が大きく、プラズモン共鳴による電流増倍度が所望の値に達せず、リソグラフィ試験を実現させることができなかった。この問題に取り組む中で、プラズモン共鳴を電子源突起先端部に収束させるためのモード制御をさらに高効率化する必要があることがわかった。そして、そのための要素技術である、金属ナノグレーティング構造を用いた偏光制御デバイスの開発に注力することとした。その結果、アスペクト比の高い金ナノグレーティング構造を利用することで透過率が60%以上と高い1/2波長板を構成できることがわかり、これを配列した軸対称偏光子アレイを製作するための道筋をつけることができた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

交付申請書に掲げた2つの目標に対して、当初予想していなかった問題が生じたため、年度当初の目標を完全には達成することができなかった。その代り、問題点の洗い出しおよび具体的な解決方法の立案、さらにこれを進めるうえで必要な科学的に新たな知見を得ることができた。

Strategy for Future Research Activity

当初予定では、25・26年度を通じて大規模電子源アレイの実現とそれによる電子線リソグラフィを達成することとしていたが、前述のとおり新たな問題が生じたため、これを解決すべく研究計画を修正する必要がある。具体的には、下記の3点の課題にとり組むことで、研究を推進するうえで明らかになった学術的課題を解決することを目指す。
I. 超並列光制御のための微小偏光制御素子の開発
II. プラズモン共鳴発生時の熱散逸制御のためのグレーティング開発
III. 上記要素を集積化した裏面光制御プラズモン共鳴電子源アレイの開発

  • Research Products

    (9 results)

All 2014 2013 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (5 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Plasmon-resonance dew condensation sensor made of gold-ceramic nanocomposite and its application in condensation prevention2013

    • Author(s)
      K. Iwami, S. Kaneko, R. Shinta, J. Fujihara, H. Nagasaki, Y. Matsumura, and N. Umeda
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B: Chemical

      Volume: 184 Pages: 301-305

    • DOI

      10.1016/j.snb.2013.04.011

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Plasmonic half-waveplate based on gold nanoslit and its application to ultrasmall radial polarization converter2013

    • Author(s)
      M. Ishii, K. Iwami, N. Umeda
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE

      Volume: 8809 Pages: 880922 1-6

    • DOI

      10.1117/12.2024785

  • [Presentation] 波長選択性表面のためのNi-W合金膜の電気めっき成膜2014

    • Author(s)
      那順、岩見健太郎、梅田倫弘
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学相模原キャンパス
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] 金属ナノスリット構造を用いた微小光学位相子2014

    • Author(s)
      石井美帆、岩見健太郎、梅田倫弘
    • Organizer
      日本機械学会関東支部第20期講演会
    • Place of Presentation
      東京農工大学小金井キャンパス
    • Year and Date
      20140314-20140315
  • [Presentation] アルミニウムナノスリット構造によるマイクロ近紫外1/2波長板2013

    • Author(s)
      石井美帆、岩見健太郎、梅田倫弘
    • Organizer
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      同志社大学京田辺キャンパス
    • Year and Date
      20130916-20130919
  • [Presentation] PHOTOCHEMICAL POLISHING OF SAPPHIRE SUBSTRATE BASED ON NONADIABATIC OPTICAL NEAR-FIELD ETCHING2013

    • Author(s)
      J. Suzuki, K. Hirata, K. Iwami, A. Taguchi, N. Umeda
    • Organizer
      2013 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2013)
    • Place of Presentation
      Kanazawa, Japan
    • Year and Date
      20130818-20130822
  • [Presentation] Microfabricated half-waveplate based on Gold Fin Array2013

    • Author(s)
      M. Ishii, K. Ida, K. Iwami and N. Umeda
    • Organizer
      The 9th Asia-Pacific Conference on Near-field Optics (APNFO-9)
    • Place of Presentation
      Singapore
    • Year and Date
      20130703-20130706
  • [Remarks] 東京農工大学岩見研究室

    • URL

      http://nmems.lab.tuat.ac.jp/Research.html

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 偏光制御素子、近接場光源、および並列電子線装置2013

    • Inventor(s)
      岩見健太郎、梅田倫弘
    • Industrial Property Rights Holder
      東京農工大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2013/067729
    • Filing Date
      2013-06-27
    • Overseas

URL: 

Published: 2015-05-28  

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