2014 Fiscal Year Annual Research Report
マグネシウム系薄膜による表示デバイス開発のための基礎研究
| Project/Area Number |
23760279
|
|---|
| Research Institution | Niigata University |
|---|
Principal Investigator |
清水 英彦 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (00313502)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2011-04-28 – 2015-03-31
|
| Keywords | 調光ミラー / Mg系薄膜 / Mgフタロシアニン / フッ化リチウム |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では，Mg系調光ミラー薄膜による新規エレクトロクロミックデバイスの検討も一つの目的である。そこで，Mg系薄膜／Pd超薄膜／有機材料薄膜の構造を作製するため，酸化還元特性を有する金属フタロシアニンであるMgフタロシアニン（MgPc）に注目し，その薄膜の作製及び特性の検討を行った。まず，真空蒸着法により堆積したMgPC薄膜の上に約5nmのPd超薄膜を堆積した試料の希釈水素ガス中における特性の検討を行った結果，波長400nm付近から600nm付近の透過率が希釈水素ガス雰囲気中にて数%から十数%増加した。また，希釈水素ガス雰囲気から空気に戻した場合，希釈水素ガス雰囲気にさらす前の透過率の値に戻ることが分かった。これらのことから，MgPC薄膜が水素の貯蔵及び排出する特性があると考えられた。次に，MgPC薄膜の水素化時の電気特性を測定するために，Au電極薄膜の上にMgPC薄膜，Pd超薄膜の試料を作製した。しかし，Au電極薄膜とPd超薄膜が導通してしまい，電気特性を測定することができなかった。この原因を調べた結果，MgPCは板状構造であるため，真空蒸着法により作製したMgPC薄膜には，隙間ができやすく，その部分にPd超薄膜堆積するため，下部電極であるAu薄膜と接触してしまうことが分かった。このことから，エレクトロクロミックデバイスを作製するためには，MgPc薄膜とPd超薄膜の間にバッファ層を入れる必要があると考えられた。そこで，有機EL等に使用され，可視光透過率が高いフッ化リチウム（LiF）に注目し，Pd超薄膜／LiF薄膜超薄膜／MgPC薄膜／Au薄膜の構造の検討を行った。その結果，希釈水素ガス雰囲気中にて透過率の値が数%から十数%増加し，Pd超薄膜とAu薄膜が導通することはなく，LiF薄膜がバッファ層として有効であることが分かった。
|
