ラジカル励起室温原子層堆積による超格子成長機構研究

2023 Fiscal Year Comments on the Screening Results

• Project/Area Number: 23H00098
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 14:Plasma science and related fields
• Research Institution: Yamagata University
• Principal Investigator: 廣瀬 文彦 山形大学, 大学院理工学研究科, 教授 (50372339)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 有馬 ボシールアハンマド 山形大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (30596549)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2027-03-31

Summary of the Research Project

本研究は、室温におけるOHラジカル励起法を用いた原子層堆積法による金属酸化物の成膜において、アトムレベルで濃度と膜厚を制御した複合酸化膜超格子製造技術を確立するため、膜表面における競合吸着反応の解明ならびに高内部エネルギー分子共吸着法、原子再配列促進、結晶化のための表面励起技術の開発を行う。

Scientific Significance and Expected Research Achievements

本研究により、室温において金属複合酸化物を超格子にする技術が確立すると、結晶性を持つ複合酸化物による新しい機能材料の開発が可能となり、金属酸化物半導体開発への貢献などの波及効果が期待される。本研究の適用例として可視光触媒超格子膜の作成が成功すればその応用効果も期待できる。