2023 Fiscal Year Comments on the Screening Results

深紫外ナノラマン・イメージング顕微鏡の開発と応用

Research Project

Project/Area Number	23H00155
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Review Section	Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
Research Institution	Hokkaido University
Principal Investigator	田口敦清北海道大学, 電子科学研究所, 准教授 (70532109)
Project Period (FY)	2023-04-01 – 2028-03-31
Summary of the Research Project	近接場ラマン顕微鏡を深紫外領域に展開し、光の回折限界を超える10 nm以下の高分解能でナノ構造を観察できるイメージング装置の開発を行う研究である。これをもとに、次世代の集積ナノデバイスの新しい画像分析評価装置、およびデバイス開発やプロセス構築、ナノ医療分野への展開を図るものである。
Scientific Significance and Expected Research Achievements	大気中において10nm以下の分解能を有する顕微鏡が開発されることは、学術界・産業界において極めて有用である。特に、アルミニウムによる表面プラズモンポラリトンの深紫外励起や反射対物レンズの液浸化技術による開口数増強等、この顕微鏡を実現するための数々の要素技術の深化も期待され、学術的意義も高い。