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2023 Fiscal Year Comments on the Screening Results

マルチプローブ型ナノサーマルFTIR技術の確立

Research Project

Project/Area Number 23H00267
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Medium-sized Section 29:Applied condensed matter physics and related fields
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

梶原 優介  東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60512332)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 木村 文信  東京大学, 生産技術研究所, 助教 (10739311)
Project Period (FY) 2023-04-01 – 2027-03-31
Summary of the Research Project

高電子移動度トランジスタ(HEMT)などの半導体集積回路の微細化に伴って問題となってきた、ナノスケールの熱や熱輸送の分布の計測手法を開発する研究である。2本のカーボンナノチューブを探針として、物質の表面に生じる熱励起エバネッセント波の散乱を利用した高分解能の熱スペクトルを検出できる顕微鏡を開発する。

Scientific Significance and Expected Research Achievements

従来の熱計測とは一線を画し、数10ナノメートルの空間分解能で高精度計測が可能な顕微鏡は、半導体産業からの高いニーズに応えるあたらしい計測法であり、学術的意義が非常に高い研究である。また、本顕微技術はフォノン伝導に関する学問の理解にも繋がり、 AFMやSTMなどのナノサイエンスを支える重要な技術に発展できる可能性がある。

URL: 

Published: 2023-07-04  

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