2023 Fiscal Year Research-status Report
酸化物固体電解質を用いた全固体薄膜電池の作製とその電気化学評価
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23K04588
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| Research Institution | Nippon Institute of Technology |
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Principal Investigator |
白木 将 日本工業大学, 基幹工学部, 教授 (80342799)
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2023-04-01 – 2026-03-31
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| Keywords | リチウム２次電池 / エピタキシャル薄膜 / パルスレーザー堆積法 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本年度は、パルスレーザー堆積法（PLD）ならびにRFスパッタリング法を用いて、酸化物固体電解質リン酸リチウム（Li3PO4、以下LPO）の薄膜を作製し、そのイオン伝導測定を行った。具体的には、
（１）薄膜型全固体電池作製・評価装置の真空ポンプの起動停止、ゲートバルブの開閉、サンプルマニピュレータなどの真空機器、ならびにPLDやスパッタリング装置の成膜装置などをパソコンで制御するシステムを導入した。これにより試料作製のリモート制御も可能になった。
（２）試料搬送・管理ソフトを導入し、装置に導入した基板とメタルマスクの配置ならびに搬送をパソコンで制御・管理することが可能になった。これにより、真空・成膜装置のパソコン制御ソフトと合わせて効率的に実験を行うことができるようになった。
（３）LPO薄膜を作製し、交流インピーダンス測定により、LPO薄膜のイオン伝導率測定を行った。また、イオン伝導率の温度依存性を測定し、リチウムイオン伝導に関する活性化エネルギーを測定した。上記は、集電体にAuとLaNiO3（以下、LNO）、基板にSrTiO3（以下、STO）を用いて、Au/LPO/NbドープSTO/Auのべた膜サンプル、ならびにメタルマスクを用いて作製したAu/LPO/LNO/STOのマスクサンプルの２つのタイプの試料で実験を行い、室温においてバルクと同程度のイオン伝導率を示すLPO薄膜の作製に成功した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
薄膜型全固体電池の作製をリモート制御で行い、効率的に実験を進めるシステムを整備することができた。また、メタルマスクを用いた試料作製にも成功した。
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| Strategy for Future Research Activity |
これまでにPLDやスパッタリング法を用いてマスクを利用した積層構造の作製に取り組んできた。今後は、負極にリチウム膜を用いて薄膜型全固体電池の作製とその評価を行う。
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