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2022 Fiscal Year Annual Research Report

Research of ultra-low power switching devices based on ferroelectric kappa-Ga2O3

Research Project

Project/Area Number 22H01527
Allocation TypeSingle-year Grants
Research InstitutionKyoto Institute of Technology

Principal Investigator

西中 浩之  京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 准教授 (70754399)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 上田 修  明治大学, 研究・知財戦略機構(生田), 研究推進員(客員研究員) (50418076)
池永 訓昭  金沢工業大学, 工学部, 准教授 (30512371)
蓮池 紀幸  京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 助教 (40452370)
宮戸 祐治  龍谷大学, 先端理工学部, 准教授 (80512780)
Project Period (FY) 2022-04-01 – 2025-03-31
Keywords酸化ガリウム / 強誘電体 / ミストCVD / 高移動度トランジスタ / 単一ドメイン
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、酸化ガリウム(Ga2O3)の中で唯一分極をもつ強誘電体のκ-Ga2O3の高電子移動度トランジスタ(HEMT)を形成して、GaNを超える高周波デバイスが実現できるかどうかを明らかにする。その検討では、GaNを超える大きな分極を利用した高濃度の二次元電子ガスの実証、その二次元電子ガスを用いたHEMT動作の実証、強誘電体特性を利用したノーマリーオフ動作の実証、κ-Ga2O3の基礎物性の解明の検討を進める。
二次元電子ガスの実証に向けて、その基礎となるκ-Ga2O3の高品質な結晶成長についての検討を進めた。検討では基板のオフ角によるκ-Ga2O3の表面平坦性や結晶性の改善を試み、表面平坦性と結晶性が向上するオフ角を見出した。さらにε-GaFeO3基板上に格子整合するκ-(InxGa1-x)2O3の成長に成功した。ただ、このκ-(InxGa1-x)2O3をTEMにて転位などの解析を進めたところ格子整合しているにも関わらず、無数の転位が入っていた。これは高温での成長か冷却時に導入されたと考えている。κ-Ga2O3では同様の転位は導入されないため、In由来と考えられる。厚膜を形成する際には格子整合が重要となる。低温での成長や他元素の導入など検討して転位低減した格子整合系材料を探索する。
また、κ-Ga2O3はGa2O3の準安定相の一つであるが、準安定相の探索として存在が怪しまれていたδ-Ga2O3の形成検討を行った。ミストCVDと適切なバッファ層を利用することで初めてδ-Ga2O3の形成に成功した。これはGa2O3の安定相制御技術にとって大きな成果であると言える。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

κ-Ga2O3の高濃度2DEGによるHEMTの実現に向けて、本年度はその成長に重要なκ-Ga2O3の高品質な結晶を得ることに成功している。また、予定していた格子整合するκ-(InxGa1-x)2O3の成長にも成功している。一方で想定していなかった格子整合しているκ-(InxGa1-x)2O3への無数の転位が観察された。予定ではこの格子整合κ-(InxGa1-x)2O3を基礎としてデバイスを形成する予定だったが、この無数の転位のために積層構造の形成が進んでいない。そのため、やや遅れていると判断した。また、単一ドメインのκ-Ga2O3の電気特性を評価しているが、基板のFeが膜中に拡散していることが分かった。このFeはキャリアを補償するため対策が必要である。
一方で準安定相の形成技術としては、存在が怪しまれていたδ-Ga2O3の形成に成功している。この成果はGa2O3の結晶成長の分野において大きな意義があると言える。
またκ-Ga2O3の物性解明に向けては、単一ドメインのκ-Ga2O3の転位解析やラマン分光などの評価を進めており、回転ドメインを持つ薄膜とは異なる結果が得られており、興味深い結果が得られつつある。

Strategy for Future Research Activity

今後はκ-Ga2O3のヘテロ界面での2DEGの蓄積を検証するために基礎となるκ-Ga2O3の高品質化の検討を進めていく。特にFeのキャリアの補償の影響を防ぐために、Feの拡散の影響が出ない厚膜化の検討を行う。一方で厚膜化のためには格子整合系が必要であるが、現状のκ-(InxGa1-x)2O3では無数の転位が存在するため、厚膜化には向いていない。成膜条件の検討や格子整合する他の元素との混晶の検討などを行い、厚膜化を進めていく。その後ヘテロ接合を形成して2DEGの評価を進めていく。
また、κ-Ga2O3の物性解明に向けては、このε-GaFeO3基板上での結晶成長の解明として、臨界膜厚の評価や転位などの評価を進める予定である。さらにはミストCVDだけでなく、MBEやMOCVDなどの手法でエピタキシャル成長の検討を行い、手法による結晶成長の違いを明らかにしていく。すでにMBEやMOCVDを検討しているグループと共同研究を開始している。また、ラマン分光や発光特性などの評価も継続して行っていく。電気特性の解明に向けては不純物ドープなどの検討も行って、移動度やキャリア密度の評価を進める。

  • Research Products

    (36 results)

All 2023 2022 Other

All Int'l Joint Research (4 results) Journal Article (8 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 8 results,  Open Access: 3 results) Presentation (23 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Invited: 3 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Int'l Joint Research] パルマ大学(イタリア)

    • Country Name
      ITALY
    • Counterpart Institution
      パルマ大学
  • [Int'l Joint Research] ポールドルーデ研究所(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      ポールドルーデ研究所
  • [Int'l Joint Research] ベルリン工科大学(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      ベルリン工科大学
  • [Int'l Joint Research] バレンシア大学(スペイン)

    • Country Name
      SPAIN
    • Counterpart Institution
      バレンシア大学
  • [Journal Article] Vertical self-powered ultraviolet photodetector using α-Ga2O3 thin films on corundum structured rh-ITO electrodes2023

    • Author(s)
      Shimazoe Kazuki、Nishinaka Hiroyuki、Taniguchi Yoko、Kato Takahiro、Kanegae Kazutaka、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Materials Letters

      Volume: 341 Pages: 134282~134282

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2023.134282

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Corundum-structured α-Fe2O3 substrates for α-Ga2O3 epitaxial growth2023

    • Author(s)
      Nishinaka Hiroyuki、Shimazoe Kazuki、Kanegae Kazutaka、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Materials Letters

      Volume: 336 Pages: 133784~133784

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2022.133784

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Coherent growth of β-(AlxGa1-x)2O3 alloy thin films on (010) β-Ga2O3 substrates using mist CVD2023

    • Author(s)
      Kaneko Masahiro、Nishinaka Hiroyuki、Kanegae Kazutaka、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 62 Pages: SF1002~SF1002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acb065

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Homoepitaxial growth of Ge doped β-gallium oxide thin films by mist chemical vapor deposition2023

    • Author(s)
      Ogawa Temma、Nishinaka Hiroyuki、Shimazoe Kazuki、Nagaoka Tatsuji、Miyake Hiroki、Kanegae Kazutaka、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 62 Pages: SF1016~SF1016

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acba25

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Demonstration of Bixbyite-Structured δ-Ga2O3 Thin Films Using β-Fe2O3 Buffer Layers by Mist Chemical Vapor Deposition2023

    • Author(s)
      Kato Takahiro、Nishinaka Hiroyuki、Shimazoe Kazuki、Kanegae Kazutaka、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 5 Pages: 1715~1720

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c01750

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Growth of indium-incorporated κ-Ga2O3 thin film lattice-matched to the ε-GaFeO3 substrate2022

    • Author(s)
      Nishinaka Hiroyuki、Ueda Osamu、Ikenaga Noriaki、Hasuike Noriyuki、Yoshimoto Masahiro
    • Journal Title

      Materials Letters: X

      Volume: 14 Pages: 100149~100149

    • DOI

      10.1016/j.mlblux.2022.100149

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Thermodynamically metastable α-, ε- (or κ-), and γ-Ga2O3: From material growth to device applications2022

    • Author(s)
      Biswas Mahitosh、Nishinaka Hiroyuki
    • Journal Title

      APL Materials

      Volume: 10 Pages: 060701~060701

    • DOI

      10.1063/5.0085360

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Impact of α-Fe2O3 Buffer Layer Growth Time on the α-Ga2O3 Grown on LiTaO3 Substrates2022

    • Author(s)
      SHIMAZOE Kazuki、NISHINAKA Hiroyuki、ARATA Yuta、YOSHIMOTO Masahiro
    • Journal Title

      Journal of the Society of Materials Science, Japan

      Volume: 71 Pages: 830~834

    • DOI

      10.2472/jsms.71.830

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] (001) FZ成長ε-GaFeO3基板上にミストCVD成長したκ-(InxGa1-x)2O3薄膜中の欠陥のTEM評価2023

    • Author(s)
      上田修, 西中浩之,池永訓昭, 蓮池紀幸,吉本昌広
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] ミストCVD法による(001) β-Ga2O3薄膜のホモエピタキシャル成長2023

    • Author(s)
      上田遼, 西中浩之,永岡達司, 三宅裕樹,吉本昌広
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] α-Ga2O3/rh-ITO構造のヘテロエピタキシャル成長と深紫外フォトディテクタの試作2023

    • Author(s)
      島添和樹, 西中浩之,加藤貴大, 谷口陽子,鐘ケ江一孝,吉本昌広
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Ga2O3の結晶成長とその特性評価:HEMT応用が期待される新規相のκ-Ga2O32023

    • Author(s)
      西中浩之
    • Organizer
      (独)日本学術振興会第R032委員会 第11 回研究会「パワー関連半導体の将来展望」
    • Invited
  • [Presentation] Alloying β-(AlxGa1-x)2O3 thin films grown on (010) β-Ga2O3 substrates by mist CVD2022

    • Author(s)
      K. Kaneko, H. Nishinaka, Y. Kajita, K. Kanegae, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 2022 International Meeting for Future of Electron Decives, Kansai
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] TEM characterization of defects in κ-(Ga1-xInx)2O3 thin film grown on (001) FZ-grown ε-GaFeO3 substrate by Mist CVD2022

    • Author(s)
      O. Ueda, H. Nishinaka, N. Ikenaga, N. Hasuike, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Epitaxial growth of β-(AlxGa1-x)2O3 and β-(InxGa1-x)2O3 alloy thin films on (010) β-Ga2O3 substrates via mist chemical vapor deposition2022

    • Author(s)
      M. Kaneko, H. Nishinaka, Y. Kajita, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Demonstration of δ-Ga2O3 epitaxial thin films using β-Fe2O3 buffer layers by mist CVD2022

    • Author(s)
      T. Kato, H. Nishinaka, K.Shimazoe, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Homoepitaxial growth of Ge-doped β-Ga2O3 films by mist chemical vapor deposition2022

    • Author(s)
      T. Ogawa, H. Nishinaka, K.Shimazoe, T. Nagaoka, H. Miyake, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Single-domain κ-Ga2O3 thin films grown on ε-GaFeO3 substrates by mist CVD2022

    • Author(s)
      H. Nishinaka, O. Ueda, N. Ikenaga, N. Hasuike, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      The 4th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Epitaxial growth of Mo-doped Indium Oxide (IMO) thin film on (111)YSZ by mist chemical vapor deposition.2022

    • Author(s)
      T. Ishino, K. Shimazoe, H. Nishinaka, and M. Yoshimoto
    • Organizer
      8th International Symposium on Transparent Conductive Materials and 12th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ミストCVD法によるYSZ基板上アンドープおよびSnドープhexagonal-InGaO3混晶薄膜のエピタキシャル成長2022

    • Author(s)
      小倉有莉, 新田悠汰, 池之上卓己, 鐘ケ江一孝 ,西中浩之, 吉本 昌広
    • Organizer
      第32回日本MRS年次大会
  • [Presentation] ミストCVD法を用いた(010)β-Ga2O3基板上へのβ-(AlxGa1-x)2O3/β-(InxGa1-x)2O3薄膜の成長2022

    • Author(s)
      金子真大,西中浩之,鐘ケ江一孝,吉本昌広
    • Organizer
      2022年度材料学会半導体エレクロトニクス部門委員会第2回研究会, 2022年度第1回ナノ材料部門委員会第1回研究会
  • [Presentation] 酸化ガリウムの薄膜形成技術とその開発動向2022

    • Author(s)
      西中浩之
    • Organizer
      薄膜材料デバイス研究会第19回研究集会
    • Invited
  • [Presentation] Visible-light responsive photocatalyst of Bismuth incorporation into In2O3 thin films by mist CVD2022

    • Author(s)
      谷口陽子, 西中浩之,島添和樹,川原村敏幸,鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      The 41th Electronic Materials Symposium
  • [Presentation] Epitaxial growth of bixbyite structured delta-Ga2O3 thin films using the same structured beta-Fe2O3 buffer layers by Mist CVD2022

    • Author(s)
      加藤貴大, 西中浩之,島添和樹,鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      The 41th Electronic Materials Symposium
  • [Presentation] Epitaxial growth of β-(AlxGa1-x)2O3 thin films on (010) β-Ga2O3 substrates by mist CVD2022

    • Author(s)
      金子真大, 西中浩之, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      The 41th Electronic Materials Symposium
  • [Presentation] ミストCVD法によるGeドープβ-Ga2O3薄膜のホモエピタキシャル成長2022

    • Author(s)
      小川典真, 西中浩之, 島添和樹, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ミストCVD法によるβ-Fe2O3バッファ層を用いたδ-Ga2O3のエピタキシャル成長2022

    • Author(s)
      加藤貴大, 西中浩之, 島添和樹, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ミストCVD法によるβ-(AlxGa1-x)2O3/β-(InxGa1-x)2O3/β-Ga2O3薄膜のヘテロエピタキシャル成長2022

    • Author(s)
      金子真大, 西中浩之, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ε-GaFeO3基板を用いた単一ドメインκ-Ga2O3の成長2022

    • Author(s)
      西中浩之, 上田修, 迫秀樹, 池永訓昭, 宮戸祐治, 蓮池紀幸, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Bi添加In2O3薄膜による可視光応答型光触媒反応の評価2022

    • Author(s)
      谷口陽子, 島添和樹, 西中浩之, 川原村敏幸, 鐘ケ江一孝, 吉本昌広
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] コランダム構造を有するrh-ITO上へのHfxZr1-xO2薄膜のミストCVD成長とその評価2022

    • Author(s)
      島添和樹,藤原悠希,田中将,西中浩之,吉本 昌広,野田実
    • Organizer
      第39回強誘電体会議
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 基体および基体の製造方法2022

    • Inventor(s)
      西中浩之、加藤貴大、島添和樹
    • Industrial Property Rights Holder
      西中浩之、加藤貴大、島添和樹
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2022-084916

URL: 

Published: 2024-12-25  

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