2014 Fiscal Year Annual Research Report
リソグラフィを用いずにナノ構造を作るための金型製造技術の開発
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24246027
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
中尾 政之 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90242007)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
長藤 圭介 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (50546231)
土屋 健介 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (80345173)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | マイクロ・ナノデバイス / 機械工作・生産工学 / 結晶成長 / エネルギー効率化 / 燃料電池 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
平成26年度には、次の4つの課題を行った。
(1)金型全面に直径が可視光波長以下の円柱穴組織を形成するための通電孔生成を伴う陽極酸化技術を用いて、沸騰伝熱面を作成して評価した。約20μmの逆ピラミッド形状をナノインプリントした面に陽極酸化処理を行ったところ、未処理表面に比べて、過熱度15℃において約3倍、過熱度20℃において約2倍の熱流束に向上した。
(2)微細粉末のスラリーが離型容易な表面処理技術を用いて、熱可塑性のスラリーで“板チョコ”のように凸状の山が連結するセラミクスシートを作成した。焼結時にバインダ体積に相当する約20%に収縮するものの，5μmの凸形状は保持されることが分かった。
(3)陽極酸化膜の下地膜を鋳型にしてアスペクト比２程度のジルコニアナノピラーを作成した。ニッケルまたはランタンストロンチウム系セラミクスを含侵することで、効率の良い燃料電池電極の可能性がある。
(4)ナノ構造の表面にダイヤモンドライクカーボンを成膜する技術を開発し、レーザ瞬間加熱によって、転写効率と生産効率とを両立させたロール成形技術を確立した。レーザスキャン速度6 m/sで、サブミクロンパターンを転写することに成功した。また、照明の光拡散構造や光取出し構造としての30μmピッチのマイクロレンズアレイの転写にも転写率90%以上で成功した。マイクロレンズアレイにおいて、樹脂表層から内部への熱伝導速度ではなく、樹脂の流動速度が転写速度に依存することがわかった。
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| Research Progress Status |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(16 results)
