2015 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
24300041
|
|---|
| Research Institution | University of Hyogo |
|---|
Principal Investigator |
前川 聡 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 非常勤研究員 (60358893)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
仁田 功一 神戸大学, システム情報学研究科, 准教授 (20379340)
陶山 史朗 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (70457331)
山本 裕紹 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00284315)
宮崎 大介 大阪市立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60264800)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2016-03-31
|
| Keywords | DCRA / X線リソグラフィ / 位相変調 / デコンボリューション / 逆フィルタ |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
結像性能を向上させるための検討では、干渉光とリフレクターにおける位相変調を用いる方法を想定する。しかしながら結像箇所が物体の面対称位置よりずれてしまう問題点がある。この問題点を解決するために、２枚の素子を用いる多段結像系を考案し、光伝搬解析を用いて評価した。多段結像による結像性能の向上では、ガウスビーム伝搬に基づく解析ツールを用いた。結像位置において、十分な光量を与えるために計算手順を改良した。その結果、多段結像により、光源の面対称位置に点像が現れることを確認している。素子の結像性能評価において、多段結像の効果により、回折理論と整合する先鋭化された点像が面対称位置で得られることを確認している。一方で、整列されたリフレクタアレイによる回折の影響で、高次光が発生し、ノイズ成分となるため、これを削減する必要がある。 2面コーナーリフレクタアレイ(DCRA)により結像された空中像において，回折広がりにより生じるボケを抑えるために，点広がり関数の逆フィルタを用いて，表示像に対してあらかじめデコンボリューションを行っておく手法を提案し，実験による実証を行った．ピンホールを用いて点光源を作り，DCRAによる空中像を形成し，レンズの口径を人の瞳サイズと等しく約7mmとしたカメラにより撮影することにより，点広がり関数を計測した．これを元にしてウィナーフィルタを得て表示画像に対してフィルタリングを行い，DCRAによる空中像を取得した．フィルタリングを行わない場合と比べて，ボケが補正されて原画像に近くなることが確認できた．
X線リソグラフィーについては、BL11でのテスト露光を実施して放射光平行化の効果を確認した。しかしながら一様な露光について課題があり、スキャン等の露光条件をより詳細に検討する必要がある。
|
| Research Progress Status |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
|
| Strategy for Future Research Activity |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
|
Research Products
(6 results)
