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2013 Fiscal Year Annual Research Report

実験室X線源によるナノメートル解像度三次元観察を目指した高感度X線顕微鏡の開発

Research Project

Project/Area Number 24310087
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

矢代 航  東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (10401233)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2015-03-31
KeywordsX線 / 顕微鏡 / 位相 / イメージング / 三次元 / ナノ材料 / 燃料電池 / 細胞・組織
Research Abstract

平成25年度も引き続き、コンパクトな実験室X線源によって数nmスケールの空間分解能の三次元硬X線高感度顕微鏡を将来的に実現するための基盤技術の確立を目指した。本研究で開発を進めている方法は、2009年に我々が提案した新しいタイプの硬X線位相差顕微鏡の着想をさらに発展させたもので、従来の方法にはない高感度の定量イメージングが実現できると期待される。X線光学の知識と、先端的なX線光源技術、微細加工技術、および情報処理技術を駆使し、さらにエラストグラフィなどの新たなコントラスト形成技術を融合することによって、まずは百nmよりも高い空間分解能で、高感度あるいは短露光時間の硬X線顕微鏡の実現を目指すものである。
平成25年度は投影型X線ラミノグラフィ顕微鏡システムの開発に着手した。マース東研X線検査(株)の研究協力者とともに投影型X線Talbot位相差顕微鏡の開発をさらに推進した。光源の開発については、物質・材料研究機構の三木一司グループリーダーとともに、微細加工技術でダイヤモンドウェハ上にタングステンの微小パターンを試作し、X線の空間コヒーレンス制御を目指した。回折格子の作製については、名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻の微細加工施設(ナノテクプラットフォーム)を利用し、開発を進めた。新規ラミノグラフィ三次元再構成アルゴリズムも鋭意開発中であり、最終年度の平成26年度に本システムによる三次元顕微イメージングの実現を目指す。
本研究の成果の一部は、平成25年11月に開催された国際ワークショップThe 12th Symposium on X-ray Imaging Opticsの招待講演などで発表された。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

平成24年7月1日に研究代表者が東京大学新領域創成科学研究科から東北大学多元物質科学研究所に移ったことに伴い、引越、X線発生装置設置の届出、実験装置立ち上げ、その他研究室立ち上げに伴う庶務などに数ヶ月以上を要したことなどが、平成25年度にも尾を引いており、全体として計画が遅れ気味である。また、微細加工による光源の作製、回折格子の作製、新規アルゴリズムの開発については試行錯誤を要しており、当初の計画から遅れる要因となっている。

Strategy for Future Research Activity

平成25年度にマース東研X線検査(株)の研究協力者とともに行った投影型X線ラミノグラフィ顕微鏡システムの開発をさらに推進する。特にやや計画よりも遅れている微細加工技術による光源の開発、回折格子の作製を、連携研究者である名古屋大学の服部正教授、物質・材料研究機構の三木一司グループリーダーとさらに進め、再設計・再試作を繰り返す。光源については、光源サイズをさらに小さくすることにより空間分解能の向上を目指し、回折格子については、周期を小さくすることによって、光学系のサイズを小さくすることを目指す。ラミノグラフィについては、ラミノグラフィック角を大きくする方向性について検討する(画像検出器の単位画素あたりに入射するフォトン数の増加、最終的に必要となる画像検出器の小型化の方向)。
また、高速並列計算のために購入したGPU計算機を利用したFresnelホログラフィデータの解析アルゴリズム、三次元ラミノグラフィ再構成アルゴリズムの改良を行っていくとともに、ハーバード大学研究員の水谷治央博士(連携研究者)、その他研究協力者から、生物試料や燃料電池試料の提供を受け、開発された装置の性能評価に試料する。
本年度は、上記の研究に加え、X線位相イメージングの感度の限界を超えることを目指すものとして、ラミノグラフィにエラストグラフィなどの新たなコントラスト形成技術を融合する研究や、液体ターゲットの使用による大強度微小X線源の開発など、チャレンジングな萌芽的研究課題にも取り組む。
これらの研究によって得られた成果は、学会発表(国内、国際)、学術雑誌への投稿はもちろん、インパクトの高い成果が得られた場合には、プレスリリースも積極的に検討する。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

次年度使用額は、今年度の研究を推進する過程で、研究予算を効率的に使用したことに伴い発生した未使用額である。
平成26年度の請求額と合算して、平成26年度の研究遂行に使用する(主に物品費として使用する)計画である。

  • Research Products

    (23 results)

All 2014 2013 Other

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (15 results) (of which Invited: 4 results) Remarks (2 results)

  • [Journal Article] A metallic glass grating for X-ray grating interferometers fabricated by imprinting2014

    • Author(s)
      W. Yashiro, D. Noda, T. Hattori, K. Hayashi, A. Momose, and H. Kato
    • Journal Title

      Appl. Phys. Exp.

      Volume: 7 Pages: 032501

    • DOI

      doi:10.7567/APEX.7.032501

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] MEMSにおける異種材料間接合メカニズムの解明2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Journal Title

      埋もれた界面のX線・中性子解析アウトルック2014

      Volume: 2014 Pages: 57-58

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 大強度X線の照射効果の研究2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Journal Title

      埋もれた界面のX線・中性子解析アウトルック2014

      Volume: 2014 Pages: 55-56

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 半導体デバイス中の三次元ナノ構造・ひずみ制御・評価2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Journal Title

      埋もれた界面のX線・中性子解析アウトルック2014

      Volume: 2014 Pages: 13-14

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Grazing-incidence ultrasmall-angle X-ray scattering imaging with X-ray transmission gratings: A feasibility studey2014

    • Author(s)
      W. Yashiro and A. Momose
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 53 Pages: 05FH04

    • DOI

      doi:10.7567/JJAP.53.05FH04

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 回折格子を利用した高感度X線結像顕微鏡2013

    • Author(s)
      矢代航、百生敦
    • Journal Title

      高圧力の科学と技術

      Volume: 23 Pages: 227-236

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] X線回折格子干渉計によるGIUSAXSイメージング2014

    • Author(s)
      矢代航、百生敦
    • Organizer
      日本物理学会第69回年次大会
    • Place of Presentation
      平塚
    • Year and Date
      20140327-20140330
  • [Presentation] X線Talbot干渉計のための透過型金属ガラス回折格子の作製2014

    • Author(s)
      矢代航、百生敦、野田大二、服部正、林好一、加藤秀実
    • Organizer
      日本金属学会2014春期講演大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      20140321-20140323
  • [Presentation] X線位相顕微イメージングとソフトマテリアル三次元可視化への応用2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Organizer
      高分子学会九州支部 九州有機材料研究グループ研究会「光・量子ビームを利用した階層構造の可視化」
    • Place of Presentation
      北九州
    • Year and Date
      20140320-20140320
    • Invited
  • [Presentation] X線回折格子干渉計におけるビジビリティコントラストの起源2014

    • Author(s)
      矢代航、百生敦
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      相模原
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] X線位相イメージング2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Organizer
      日本顕微鏡学会 様々な極微イメージング技術研究部会 第2回研究会
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      20140301-20140301
    • Invited
  • [Presentation] X線の多重散乱現象を利用したSi酸化膜/Si界面下の微小ひずみの研究2014

    • Author(s)
      矢代航
    • Organizer
      鉄鋼協会表面界面分野フォーラム ミニシンポジウム「放射光を用いたナノ・ミクロの表面・バルク解析~ソフト・ハードX線による極限的評価~」
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      20140127-20140127
    • Invited
  • [Presentation] General Concept of Visibility Contrast in X-ray Grating Interferometry2014

    • Author(s)
      Wataru Yashiro, Margie P. Olbinado, Patrik Vagovic, and Atsushi Momose
    • Organizer
      International Workshop on X-ray and Neutron Phase Imaging with Gratings (XNPIG2014)
    • Place of Presentation
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • Year and Date
      20140121-20140124
  • [Presentation] X線 Talbot 干渉計におけるビジビリティコントラストイメージング ― 急峻なエッジの効果2014

    • Author(s)
      78) 矢代航、Margie Olbinado1、Patrik Vagovic、名越健誠、佐藤友子、船守展正、兵藤一行、百生敦
    • Organizer
      第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • Place of Presentation
      広島
    • Year and Date
      20140111-20140113
  • [Presentation] X-ray projection and imaging microscopes with a phase grating2013

    • Author(s)
      Wataru Yashiro, Katsunori Minami, and Atsushi Momose
    • Organizer
      The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics
    • Place of Presentation
      Osaka, Japan
    • Year and Date
      20131118-20131120
    • Invited
  • [Presentation] Possibility of Grazing-Incidence Ultra-Small-Angle X-ray Scattering Imaging2013

    • Author(s)
      Wataru Yashiro and Atsushi Momose
    • Organizer
      12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN12)
    • Place of Presentation
      Tsukuba, Japan
    • Year and Date
      20131104-20131108
  • [Presentation] X線Talbot干渉計におけるビジビリティコントラストの理論 試料による吸収を考慮した場合2013

    • Author(s)
      矢代航,マージー・オルビナード,百生敦
    • Organizer
      日本物理学会2013年秋季大会
    • Place of Presentation
      徳島
    • Year and Date
      20130925-20130928
  • [Presentation] X線Talbot干渉計のための金属ガラス回折格子の作製2013

    • Author(s)
      矢代航,野田大二,服部正,林好一,百生敦,加藤秀実
    • Organizer
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      京田辺
    • Year and Date
      20130916-20130920
  • [Presentation] Ultra Small Angle X-ray Scattering Imaging using Gratings - Possibility of GIUSAXS Imaging2013

    • Author(s)
      Wataru Yashiro and Atsushi Momose
    • Organizer
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • Place of Presentation
      Kyotanabe, Japan
    • Year and Date
      20130916-20130920
  • [Presentation] X線顕微鏡の現状と将来展望 ― 化学研究への応用可能性について2013

    • Author(s)
      矢代航
    • Organizer
      第三回光科学分野横断萌芽研究会
    • Place of Presentation
      箱根
    • Year and Date
      20130808-20130810
  • [Presentation] はじめに ― X線・中性子光学素子と微細加工技術2013

    • Author(s)
      矢代航
    • Organizer
      第4回ナノマイクロシステム融合研究会
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      20130517-20130517
  • [Remarks] 縞状X線格子を過冷却液体金属でインプリント成形

    • URL

      http://www.tohoku.ac.jp/japanese/2014/03/press20140307-03.html

  • [Remarks] 矢代 航|東北大学多元物質科学研究所

    • URL

      http://mml.tagen.tohoku.ac.jp/yashiro/index.html

URL: 

Published: 2015-05-28  

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