2012 Fiscal Year Annual Research Report
円環状対物瞳と近接補助電極を用いる電子光学系用球面収差補正技術の開発
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24360020
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Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Research Institution | Osaka Electro-Communication University |
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Principal Investigator |
生田 孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
日坂 真樹 大阪電気通信大学, 医療福祉工学部, 准教授 (40340640)
松谷 貴臣 近畿大学, 理工学部, 准教授 (00411413)
川崎 忠寛 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (10372533)
児玉 哲司 名城大学, 理工学部, 教授 (50262861)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | 電子顕微鏡 / 走査型電子顕微鏡 / 電子光学系 / 球面収差補正 / 円環状対物瞳 / 3次元収束プロファイル / 電子ビーム露光 / 微細加工技術 |
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| Research Abstract |
申請者らが行ってきた、円環状対物瞳を用いた電子顕微鏡(TEM,STEM)用長焦点深度線形結像振幅・位相分離観察手法の発展として、円環状対物瞳と近接補助電極を組み合わせて用いる、新しい発想の電子光学系球面収差補正技術の検証と特性の把握を試みる事が本研究第一の目的である。加えて、円環状対物瞳と補助電極の微細加工技術の確立、ビーム露光装置用(画像処理適用不可能)としての3次元収束特性の評価、像観察(TEM,STEM)用としての検知器・画像処理アルゴリズムの改良と3次元結像特性評価などを副次的な目的とする。
平成24年度においては、
・円環状対物瞳と近接補助円孔電極を用いる電子光学系用球面収差補正系の波面収差関数の導出(近似理論解析に基づく)。
・微細加工された円環状対物瞳を、名古屋大学に設置されている走査型透過電子顕微鏡(STEM)鏡体に装着して対物レンズ球面収差補正効果の予備実験を実施。
・上記の収差補正効果の予備実験と並行して電子ビーム収束状況の波動光学シミュレーションを実施(電子ビーム露光装置用への応用に関する予備実験)。
・シンチレータ+光ファイバーの代わりにシンチレーションファイバーを用いた検知器の開発を実施(STEM無収差位相像観察に適用予定)。
等を実施した。平成25年度には、これらの結果を基に収差補正効果の定量的評価を試みるとともに、本手法の実用化に向けた検討を行って行く予定である。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
目下の所、当初予定に近い形で研究を進めている。
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| Strategy for Future Research Activity |
目下の所、当初予定に近い形で研究を進めており、研究計画の変更あるいは研究を遂行する上での課題等は特に生じていない。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
平成24年度の予備検討、実験結果を基に、平成25年度では収差補正効果の定量的評価を試みるとともに、本手法の実用化に向けた検討を進めて行く予定である。
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