2015 Fiscal Year Annual Research Report
水溶液プロセスによる透明導電性ＺｎＯ膜の実現と透明電子回路への挑戦
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24360270
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
松下 伸広 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (90229469)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
我田 元 信州大学, 工学部, 助教 (40633722)
勝又 健一 東京理科大学, 付置研究所, 准教授 (70550242)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | 酸化亜鉛 / 透明導電膜 / 水溶液プロセス / 紫外線照射 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
平成27年度は主に以下の3点について成果が得られた。
(1)異なる波長の紫外線照射による低抵抗化の調査 UV-A(320-380 nm)、UV-B(280～340 nm、UV-C(260 nm)と3種類の波長の異なる紫外線ランプとUVカットフィルターの組み合わせにより、波長領域の異なる紫外線を溶液作製した酸化亜鉛膜に照射する実験により、酸化亜鉛膜の低抵抗化にはUV-Aの紫外光とフィルターにより360 nm近傍の紫外光を照射することが最も適していることを明らかにした。
(2)紫外線マスクを用いた透明回路の描画 ウィンドウを設けたマスクにより紫外線照射領域を限定することで、溶液作製した酸化亜鉛膜中に任意の形状・サイズにて透明回路が描画可能であることを確認した。さらにはより強い紫外線の照射を用いてより長時間照射することにより、照射していない部分と比べて3桁ほど低い抵抗値とできることを見いだした。
(3)Mgイオン置換ZnO膜の作製と評価 溶液作製した酸化亜鉛膜はn型のものしか得られていないことから、p型酸化亜鉛膜の作製を目指す基礎実験として、Mg置換酸化亜鉛膜を溶液作製した。十分な低抵抗化をはかれなかったものの、微量ながらもMgイオンが置換されていることが確認できた。
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| Research Progress Status |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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