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2014 Fiscal Year Annual Research Report

強磁性体金属-酸化物界面で生じる磁気異方性エネルギーとその電界制御の研究

Research Project

Project/Area Number 24360287
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

喜多 浩之  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00343145)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2015-03-31
Keywords界面磁気異方性 / 強磁性体 / 界面制御 / 電界効果 / 酸化物
Outline of Annual Research Achievements

金属強磁性体薄膜/酸化物界面にはたらく界面磁気異方性が外部からの電界の印加によって変化する現象が注目されている。本研究では,効果の大きさを決定する因子として界面を構成する元素とその化学状態に着目し,電界効果の大きさとの相関の解明を試みた。CoFeB超薄膜上へ酸化物を堆積する積層順を採用したところ酸化物の種類による違いが強く現れた。酸化物をAl2O3,MgO,Y2O3,ZrO2と変えて比較したところ,Y2O3は相対的に効果が弱く,ZrO2は強くなる傾向が見出された。これらの酸化物とCoFeBの界面では,酸化物の堆積及びその後のアニール時にCoFeBの酸化反応が進行しており,その反応量をXPS解析により推定したところ,特にY2O3ではCoFeBとの反応性が高く,酸化物中へCoやFeが多く含まれることが判明した。従ってCoFeBの酸化反応の進行に伴って電界効果が劣化するものと予想できる。次に,酸化物をAl2O3としたスタックにおいて,Al2O3の堆積前に意図的にCoFeB表面を酸素雰囲気に曝露してからAl2O3の堆積を行うことでCoFeBの酸化を助長させたところ,電界効果を増大させるには酸素への曝露を最小化するのがよいことが分かった。このときXPSで観察されたCoやFeの酸化物とCo金属及びFe金属の信号強度比からCoFeB表面に直接結合する酸素の面密度を概算で推定したところ,CoFeB層を部分的に覆う程度の密度であった。これは酸素がCoFeB全面を覆ってCo-O結合やFe-O結合を規則正しく配置した界面よりも,酸素が不足して一部は金属結合で構成される界面とする方が有利となることを意味する。このように界面の磁気異方性に対する電界効果の増大には界面でのCoやFeの酸化反応の抑制が有効であり,界面反応性の低い酸化物の選択や,酸化を強く抑制した界面形成条件の適用が望ましい。

Research Progress Status

26年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

26年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

26年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

26年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (10 results)

All 2015 2014 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (6 results) (of which Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Control of 4H-SiC (0001) Thermal Oxidation Process for Reduction of Interface State Density2014

    • Author(s)
      Koji Kita, Richard Heihachiro Kikuchi, Hirohisa Hirai, and Yuki Fujino
    • Journal Title

      ECS Transactions

      Volume: 64 Pages: 23-28

    • DOI

      10.1149/06408.0023ecst

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Fabrication of SiO2/4H-SiC (0001) Interface with Nearly-Ideal Capacitance-Voltage Characteristics by Thermal Oxidation2014

    • Author(s)
      Richard Heihachiro Kikuchi and Koji Kita
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 105 Pages: 032106

    • DOI

      10.1063/1.4891166

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Understanding of Growth Kinetics of Thermal Oxides on 4H-SiC (0001) for Control of MOS Characteristics2014

    • Author(s)
      Koji Kita, Richard Heihachiro Kikuchi, and Hirohisa Hirai
    • Journal Title

      ECS Transactions

      Volume: 61 Pages: 135-142

    • DOI

      10.1149/06102.0135ecst

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] CoFeB と遷移金属酸化物MOx の界面磁気異方性の電界応答性に遷移金属元素M の性質が与える影響2015

    • Author(s)
      大石竜輔,喜多浩之
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 種々の温度における容量の過渡応答(C-t特性)に基づくSiC MOS界面近傍の膜中トラップ密度の定量化2015

    • Author(s)
      藤野雄貴,菊地リチャード平八郎,喜多浩之
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] CoFeB/MOx界面磁気異方性とその電界応答性の変化に与える金属元素Mの選択の効果2014

    • Author(s)
      大石竜輔,喜多浩之
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] SiC MOS界面近傍の膜中欠陥モデルを用いた容量の過渡応答による遅い準位の定量的解析手法の提案2014

    • Author(s)
      藤野雄貴,菊地リチャード平八郎,平井悠久,喜多浩之
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Quantitative Characterization of Border Traps with Widely-Spread Time Constant in SiC MOS Capacitors by Transient Capacitance Measurements2014

    • Author(s)
      Yuki Fujino, Richard Heihachiro Kikuchi, Hirohisa Hirai and Koji Kita
    • Organizer
      2014 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM2014)
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場(つくば市)
    • Year and Date
      2014-09-09 – 2014-09-11
  • [Presentation] Understanding of Growth Kinetics of Thermal Oxides on 4H-SiC (0001) for Control of MOS Characteristics2014

    • Author(s)
      Koji Kita, Richard Heihachiro Kikuchi, and Hirohisa Hirai
    • Organizer
      225th ECS Meeting
    • Place of Presentation
      Orlando, USA
    • Year and Date
      2014-05-11 – 2014-05-16
    • Invited
  • [Remarks] 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻 喜多研究室

    • URL

      http://www.scio.t.u-tokyo.ac.jp/index.html

URL: 

Published: 2016-06-01  

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