2012 Fiscal Year Research-status Report
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24560043
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | University of Yamanashi |
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Principal Investigator |
金 蓮花 山梨大学, 医学工学総合研究部, 准教授 (40384656)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
近藤 英一 山梨大学, 医学工学総合研究部, 教授 (70304871)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | 光計測 / 偏光計測 / 光散乱 / 散乱モデル |
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| Research Abstract |
物体の構造や物質同定を行うために，物体の光散乱情報が多く用いられる．本研究は，物体表面による散乱光の完全な情報を迅速・コンパクトに取得・表現できる「偏光指紋」の構築することを目的とする．
研究初年度の平成24年度は，散乱光の高度な偏光情報を測定するため，計測装置の開発と広いダイナミックレンジの入射角におけるIn-plane散乱光解析を中心に行った．計測装置に関しては，計測精度と速度の向上のため，各光学要素の制御や散乱光計測の自動化を実現した． 0～85度までの入射角における散乱光の強度分布は大きい変化を表すに対して，偏光情報は若干の変化を示すことを分かった．これらの計測結果に基づいて，７つのパラメータを用いた簡単な散乱光分布モデルを提案した．また偏光情報を導入した散乱光分布モデルの確立の試みを行った．以上，「偏光指紋」の構築を行うための基盤となる計測および解析がほぼ所定の目標を達成した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
研究初年度の平成24年度は，散乱光の高度な偏光情報を測定するため，計測装置の開発と広いダイナミックレンジの入射角におけるIn-plane散乱光解析を中心に行った．計測装置に関しては，計測精度と速度の向上のため，各光学要素の制御や散乱光計測の自動化を実現した．本装置を用いた計測結果から， 0～85度までの入射角における散乱光の強度分布は大きい変化を表すに対して，偏光情報は若干の変化を示すことを分かった．また計測結果に基づいて，７つのパラメータを用いた簡単な散乱光分布モデルを提案した．さらに偏光情報を導入した散乱光分布モデルの確立の試みを行った．以上，「偏光指紋」の構築を行うための基盤となる計測および解析がほぼ所定の目標を達成した．
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| Strategy for Future Research Activity |
初年度では、In-plane散乱光における解析およびモデルの確立を主に行った．本年度はOut-of-plane散乱光の偏光情報も含めたデータを用いて解析を行いより正確で，シンプルで，対応性の広いモデルの確立を試みる．また，各応用分野における試料を種類及びその状態に細かく分類し，試料ごとの偏光計測を行う．表面状態が偏光特性に影響するため，AFM，SEM，カラーレーザ顕微鏡などを用いた表面観察結果との対応を図りつつ，正確な偏光解析モデルの確立につなげる．これらの計測・解析データを用いて，試料の特定につながる偏光指紋を作成する．
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
（１）国内大会（2014年度応用物理学会）に出席し，成果発表および情報収集を行う（２）2014年5月，International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE６，Kyoto)にて2件の成果発表および情報収集を行う（３）論文掲載費や学会参加費．（４）半導体レーザ，散乱試料の購入または製作費
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Research Products
(13 results)
