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2016 Fiscal Year Annual Research Report

Study on calibration method on temperature and humidity for outdoor use of the hydrogen sensor using a quartz oscillator

Research Project

Project/Area Number 24560070
Research InstitutionNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Principal Investigator

鈴木 淳  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 分析計測標準研究部門, 主任研究員 (30344154)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2017-03-31
Keywords水素センサ / 水晶振動子 / 水素濃度測定 / 水素エネルギー / 燃料電池 / 粘性計測 / 高速応答 / エアドライヤ
Outline of Annual Research Achievements

最終年度では温度安定型水晶振動子を用いた水素センサを屋外に設置し、外気温度及び湿度の変化に対する安定性を評価した。センサ出力の変動率(R)は水素センサとしての使用を考えると、Rの値として0.33%以下が目標になる。まず初めに行った約40日分の結果ではRは0.28~1.03%であり、目標を達成したのは13%に留まった。そこで水晶振動子に接続するプリアンプへの温度の影響を低減するための対策を講じたが、その効果は十分ではなかった。そこで安定性の改善を、圧力校正により行った。出力の圧力依存性を用いると、24時間屋外測定で求められる圧力変化量から、圧力センサ出力の変化分が計算により得られ、これを測定結果から差し引くことにより圧力校正できる。その結果、実際の測定結果と比較して圧力校正後の結果は変化が小さく、安定性が改善されていることがわかった。
以上の成果は本研究で行った温度及び湿度補正法の開発により達成されたものである。具体的には温度変化に対する出力の変化が小さい、すなわち温度安定な温度安定型水晶振動子や、湿度の影響を抑制するため大気中の水分のみを除去する中空糸フィルターを用いたこと、温度及び湿度または圧力変化に対するセンサ出力の依存性からそれぞれの変化量に対する補正法を確立したことにより屋外使用における温度及び湿度の影響を抑制することができた。
本研究の結果、水晶振動子型水素センサの屋外使用における安定性が改善され、実用化を進めるために必要な性能を得ることができた。

  • Research Products

    (7 results)

All 2017 2016

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results,  Open Access: 1 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Temperature-stable quartz oscillator and its applications in pressure gauges, gas sensing, and gas concentration measurements2016

    • Author(s)
      Atsushi Suzuki
    • Journal Title

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      Volume: 34 Pages: 031604-1,-5

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1116/1.4946757

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Humidity calibration for pressure gauge using temperature-stable quartz oscillator2016

    • Author(s)
      Atsushi Suzuki
    • Journal Title

      Applied Science and Convergence Technology

      Volume: 25 Pages: 124, 127

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.03.020

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 水晶振動子圧力センサ出力の安定性改善のためのプリアンプへの温度の影響低減2016

    • Author(s)
      鈴木淳
    • Journal Title

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      Volume: 60 Pages: 131, 134

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] 圧力校正による水晶振動子型圧力センサの屋外計測での安定性改善2017

    • Author(s)
      鈴木淳
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-16 – 2017-03-16
  • [Presentation] 水晶振動子圧力センサ出力の安定性改善のためのプリアンプへの温度の影響低減2016

    • Author(s)
      鈴木淳
    • Organizer
      第57回真空に関する連合講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2016-11-29 – 2016-11-29
  • [Presentation] 屋外使用時における温度安定型水晶振動子出力の安定性評価2016

    • Author(s)
      鈴木淳
    • Organizer
      2016年第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-13
  • [Presentation] Humidity calibration for pressure gauge using temperature-stable quartz oscillator2016

    • Author(s)
      鈴木淳
    • Organizer
      the 20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • Place of Presentation
      BEXCO (韓国、釜山市)
    • Year and Date
      2016-08-22 – 2016-08-22
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2018-01-16  

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