2014 Fiscal Year Annual Research Report
ディジタル検出方式アコースチック・エミッション・センサの開発
| Project/Area Number |
24560170
|
|---|
| Research Institution | Hachinohe Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
武藤 一夫 八戸工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90530874)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
川島 貴弘 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50378270)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
|
| Keywords | アコースティックエミッション / ディジタル検出 / カンチレバーアレイ / ピエゾ抵抗素子 / 集積化センサ |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
本研究の当初計画においては，カンチレバーとピエゾ抵抗素子を一体化したディジタル検出方式AEセンサの試作および作製プロセスの最適化，試作したAEセンサを用いた基礎特性の評価を行うことを計画した．昨年度，検討してきたカンチレバー及びピエゾ抵抗素子の形成プロセスを実施し，それらを一体化したAEセンサの試作を行った．さらに，静的ではあるが電気的特性評価を行うなど基礎特性評価を進め，その中で作成プロセスにおける問題点を抽出し，不純物の拡散深さの最適化を検討した結果，AEセンサを実現する作製プロセスについては一応確立できたと考えている．概ね当初の研究計画内容に沿った進行が達成しているが，構成要素の基礎評価にとどまっており，一体化したAEセンサとしての基礎特性評価までには至っていない．そのために，作製プロセスの更なる最適化の検討を行うと共に，試作したAEセンサの基礎特性の評価として，圧電素子をAE信号の発生源とみなし，センサを圧電素子表面に張り付け，ファンクションジェネレータを用いて一定の周波数で振動させた際に，カンチレバー根元部に配置したピエゾ抵抗素子とのブリッジ回路により検出電位変化から，共振しているカンチレバーを同定することによって，その応答特性を評価した．また，温度補償用カンチレバーの一体化を検討し，センサの温度変化がブリッジ回路から計測される出力電圧に及ぼす影響を調査し，センサの温度特性についての評価を行った．以上のことから，当初の目標である「ディジタル検出方式AEセンサ」の開発は，一部の問題はあるが，大体完成したものと考える．その後の応用・実用の展開としては，工作機械における軸・軸受などの回転および摺動する箇所で発生するAE信号の検出検討，あるいは市販のAEセンサとの比較を含め，開発したAEセンサを用いた評価は別の機会に実施したいと考える．
|
| Remarks |
「このホームページは、JSPS科研費 24560170 の助成を受け作成しています。」
を明示しています．
|
Research Products
(4 results)
