2014 Fiscal Year Annual Research Report
テラヘルツ波エリプソメトリー用小型モジュールの開発
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24560412
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| Research Institution | Kitasato University |
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Principal Investigator |
伊藤 弘 北里大学, 一般教育部, 教授 (50525384)
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2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | UTC-PD / ショットキーバリアダイオード / 平面アンテナ / テラヘルツ / モジュール / エリプソメトリー |
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| Outline of Annual Research Achievements |
１．UTC-PD、及び準光学型モジュール構成技術：前年度試作したアンテナ集積UTC-PDを準光学型モジュールに実装して特性評価を行った結果、前年度行ったアンテナ構成の改良により直線偏波特性が改善されていることを確認した。また、120GHzから2.6THzまでをカバーする極めて広帯域な出力特性を実験的に確認した。
２．テラヘルツ波エリプソメトリーへの適用：集光系を有する反射型テラヘルツ波エリプソメトリー測定系を構築すると共に、これまでに作製した準光学型UTC-PDモジュール、及び準光学型SBDモジュールを組み合わせ、生体関連材料の計測を検討した。生体関連材料を模擬する試料として、生体関連材料の主要な構成要素であり、かつすでに材料定数が明らかになっている水（精製水）を試験サンプルとし、エリプソメトリーを実施した。その結果、エリプソメトリーの測定データとして標準的な、直線偏波特性に起因する2回対称の角度依存性が得られた。また、得られたデータから複素比誘電率を求めた結果、これまでに外部偏光子を用いた測定で得られている値（周波数範囲：90GHz～140GHz）と整合する妥当な測定結果（周波数：200GHz）が得られた。さらに、これらの結果は同一のパラメーターを用いたデバイの緩和式による解析計算で統一的に説明できることも確かめられた。以上の結果は、本研究で開発したUTC-PDモジュール及びSBDモジュールが良好な直線偏波特性を有していること、及び外部偏光子を用いなくても生体関連材料に対するエリプソメトリー計測に適用可能であることを示しており、本研究の目標を達成することができた。
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