2014 Fiscal Year Annual Research Report
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24560537
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
内田 武吉 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (70455434)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
菊池 恒男 独立行政法人産業技術総合研究所, 総務本部, 審議役 (90356866) [Withdrawn]
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | キャビテーション / 音圧 / 高出力水中超音波 / ソノケミカルルミネッセンス / 超音波治療 / 超音波洗浄 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
高出力水中超音波に付随して発生するキャビテーションは、半導体などの超音波洗浄やがん治療などの超音波治療に応用されつつあるが、超音波照射対象を破壊する作用もあるため、キャビテーションを計測・制御する技術が求められている。我々は、キャビテーション由来の信号と言われているbroadband noiseを積分した値である broadband integrated voltage (BIV)を用いたキャビテーション発生量の計測技術を開発している。26年度は以下の検討を行った。
・キャビテーションセンサの高空間分解能化 → 従来のキャビテーションセンサ内のポリフッ化ビリニデンフィルム(PVDF)のサイズは2 mmと小型化に成功したが、PVDFを接着するためのアクリル樹脂が10 mmと大きかったため、超音波音場への影響が懸念された。そこで、今回はアクリル樹脂のサイズを5 mm以下にした高空間分解能キャビテーションセンサを試作した。試作したセンサを、25年度に開発したパルスエコー法を用いたキャビテーションセンサの空間分解能の測定方法で評価したところ、従来のセンサより空間分解能が向上していることが確認できた。また、新型センサを用いて、超音波照射システムの超音波伝搬方向のBIVを測定し、ソノケミカルルミネッセンスと比較した結果、BIV分布とソノケミカルルミネッセンスの発光分布が、従来よりも一致することを確認した。
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