2012 Fiscal Year Research-status Report
導電コア高分子ファイバーによる同時多極マイクロ導通センシングデバイス
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24651160
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鞠谷 雄士 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (70153046)
高橋 邦夫 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (70226827)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | マイクロコンタクト / マイクロセンサー / IC / 導通 / プローブ / 高分子 |
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| Research Abstract |
本研究では，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的とする．具体的には，半導体シリコンウエハなどの表面上に高密度に作成された電極などに対して，凹凸や高低差がある場合にでも対応できるように機械的なコンプライアンス（柔らかさ）を持った導通センシング用の導電コア高分子ファイバープローブを開発し，それを用いて同時多極マイクロ導通センシングデバイスを実現することにある．24年度は，マイクロコンタクト時における基礎的な知見を得るために，超弾性ワイヤーと微小鋼球を用いた特殊プローブにより，先端における凝着力を基準にした微小加重領域における接触状態と導電性の関係について，実験的なアプローチにて検討を行った．今後，理論的な裏付けと共に，プローブを多極化する際の，設計指針について検討を行い，同時多極センシングデバイスの試作等を通じて研究開発を行う．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
当初の研究計画どおり，各研究項目について，適切に進められていると判断されるため．
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| Strategy for Future Research Activity |
研究目的そのものの達成のために，課題採択時当初の研究計画に加え，計画が進むにつれて明らかになった知見をもとに，柔軟に方向性を改善する方針である．
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
本年度は，当該課題にも使用可能な運営交付金や奨学寄付金などを効率的に使用することができたため，未使用額が発生したが，次年度の計画のために使用することとする．
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