導電コア高分子ファイバーによる同時多極マイクロ導通センシングデバイス

2013 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 24651160
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 鞠谷 雄士 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (70153046) ; 高橋 邦夫 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (70226827)
• Keywords: マイクロコンタクト / マイクロセンサー / IC / 導通 / プローブ / 高分子 / リソグラフィー

Research Abstract

本研究では，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的とする．具体的には，半導体シリコンウエハなどの表面上に高密度に作成された電極などに対して，凹凸や高低差がある場合にでも対応できるように機械的なコンプライアンス（柔らかさ）を持った導通センシング用の導電コア高分子ファイバープローブを開発し，それを用いて同時多極マイクロ導通センシングデバイスを実現することにある．25年度は，リソグラフィー技術を応用して，単層の平面上にに複数マイクロコンタクトプローブを持つ同時多極センシングデバイスの試作を行い，その試作過程において，様々な製造プロセスにおける知見を得た．単層デバイスの性能評価を行いながら，多層化についての知見を得ることが期待される．

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初の研究計画どおり，各研究項目について，適切に進められていると判断されるため．

Strategy for Future Research Activity

研究目的そのものの達成のために，課題採択時当初の研究計画に加え，計画が進むにつれて明らかになった知見をもとに，柔軟に方向性を改善する方針である．

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

本年度は，当該課題にも使用可能な運営交付金や奨学寄附金などを効率的に使用することができたため，未使用額が発生したが，次年度の計画のために使用することとする．
リソグラフィー技術を用いた単層デバイスの性能評価を行い，改良した試作品を作成する必要があり，その費用に用いると同時に計測機器等の購入を視野に入れている．