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2014 Fiscal Year Annual Research Report

非晶質材料表面への天然素材ナノパターンの原子レベルでの超精密転写

Research Project

Project/Area Number 24655188
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

吉本 護  東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 教授 (20174998)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2015-03-31
Keywords非晶質 / ナノ加工 / 精密転写 / 天然素材 / 原子パターン / ナノインプリント / ガラス / ポリマー
Outline of Annual Research Achievements

本研究は、自然由来のナノ構造、特に表面ナノ構造に着目して、天然ナノ構造パタ-ンをポリマーやガラスなどの非晶質材料の表面に原子レベルで精密転写できるかどうかを世界に先駆けて検討すべく、種々の天然物の精緻な表面ナノ構造の原子レベルでの転写基盤技術の確立をめざして研究遂行した。さらに、これら要素技術を活かして、天然素材と人工素材とのナノ表面複合化による新素材の開発や従来にない表面高機能材料の設計に応用することもねらった。
転写の基本技術としては、主として熱ナノインプリント工程(加熱→型押し→離型)を利用した。ケイ酸塩系酸化物ガラスやアクリル樹脂などの有機系非晶質基板の熱可塑性を使って、これら基板を加熱しながら、サファイア単結晶鉱物の原子ステップ形状や層状鉱物の雲母劈開面における六角形状の原子レベル天然ナノ構造パタ-ンを有する鋳型を基板表面上に適当な圧力で押し付けた。
その結果、石英ガラス(SiO2)基板やソーダライムシリカガラス基板、およびPMMAアクリルポリマー、ポリカーボネート、ポリイミドなどの樹脂基板上に、0.3nm程度の原子ステップを有する階段状のナノパターンを形成することに世界で初めて成功した。さらに、ソーダライムシリカガラス基板上に、雲母劈開面における約0.5nm間隔の周期的な蜂の巣凹凸パターンを転写することができた。

  • Research Products

    (7 results)

All 2014 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (5 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting2014

    • Author(s)
      G. Tan, N. Inoue, T. Funabasama, M. Mita, N. Okuda, J. Mori, K. Koyama, S. Kaneko, M. Nakagawa, A. Matsuda and M. Yoshimoto
    • Journal Title

      Appl. Phys. Exp. (APEX)

      Volume: 7 Pages: 0552021ー3

    • DOI

      10.7567/APEX.7.055202

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Formation of 0.3 nm-High Atomically Stepped Polymer Sheets Applicable to Nanotemplate Substrates for Self-Assembly2014

    • Author(s)
      G. Tan, T. Funabasama, Y. Nozawa, S. Kaneko, A. Matsuda, M. Yoshimoto
    • Organizer
      Materials Research Society(MRS:米国材料学会)Fall Meeting
    • Place of Presentation
      USA/Boston
    • Year and Date
      2014-11-30 – 2014-12-05
  • [Presentation] Nanoimprint Fabrication and Application of Subnano-Scale Surface-Patterned Glassy Substrates2014

    • Author(s)
      Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • Organizer
      13th Intl Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Tech. (Kyoto)
    • Place of Presentation
      京都ANAホテル
    • Year and Date
      2014-10-23 – 2014-10-24
  • [Presentation] 熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写2014

    • Author(s)
      船迫友之, 譚 ゴオン, 三田正弘, 奥田徳路,中川 勝,松田晃史, 吉本 護
    • Organizer
      第75回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学 札幌キャンパス)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] 熱ナノインプリント法によるガラス基板表面のシングルナノパターニングと薄膜成長制御2014

    • Author(s)
      野沢 靖久,譚 ゴオン,船迫 友之,金子 智,松田 晃史,吉本 護
    • Organizer
      第75回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学 札幌キャンパス)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Subnanometer patterning on the surfaces of glassy substrates by thermal nanoimprint process2014

    • Author(s)
      Geng Tan, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • Organizer
      1st Int’l Conf. of Photopolymer Sci. and Tech.
    • Place of Presentation
      千葉大学
    • Year and Date
      2014-07-08 – 2014-07-09
  • [Remarks] http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

URL: 

Published: 2016-06-01  

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