2013 Fiscal Year Annual Research Report

低環境負荷の液中セルフアセンブリプロセスでつくるマイクロ・ナノデバイス構造

Research Project

Project/Area Number	24681020
Research Institution	Toyota Technological Institute
Principal Investigator	熊谷慎也豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
Project Period (FY)	2012-04-01 – 2015-03-31
Keywords	ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス / セルフアセンブリ
Research Abstract	本研究では、ナノ・バイオ材料と固体表面との間の静電相互作用を制御して、デバイス構造の中に複数種のナノ・バイオ材料をセルフアセンブリで並べ分けて組み込む技術を確立し、トップダウン加工によるマクロな構造に、ボトムアップで作製されたナノ材料を組み込む、機能構造作製プロセスを目指している. 静電吸着法を利用して、ナノ粒子の自在なパターニングに取り組んだ。シリコン基板上への表面修飾によって作製する、アミノシラン分子パターン（アミノ基を提示して正に帯電する静電吸着パターン）のサイズとDebye長との相関を検討した。シリカナノ粒子（直径100nm）を中心として、ナノ粒子のパターニングに取り組んだ。吸着密度に課題は残っているものの、これらのナノ粒子の自在なパターニングが出来つつある。一方、触媒ナノ粒子を内包させたバイオナノ粒子をパターニングし、シリコン薄膜の結晶化を行い、MEMS振動子の試作に取り組んだ。国際会議での発表に向けて準備を進めている。
Current Status of Research Progress	Current Status of Research Progress 3: Progress in research has been slightly delayed. Reason 静電吸着の評価実験は、電子ビーム露光等のプロセスが必要であり、時間を要する側面がある。計算シミュレーションをさらに効率よく行うことで、項目委評価の改善を図っていきたい。
Strategy for Future Research Activity	ナノ粒子配置を利用したMEMSの試作を進めてきているが、その特性評価用の装置の開発に取り組んでいる。試作後の評価が迅速に行えるように準備を進める。
Expenditure Plans for the Next FY Research Funding	ナノ粒子配置プロセスを利用して試作されるMEMSを評価するための装置が必要である。確実に特性評価を行える装置とするため、十分に時間をかけて設計することとした。 2014年度の早い段階において、装置設計・製作を実施する。