• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2015 Fiscal Year Annual Research Report

超平滑な酸素還元触媒を用いた純水中でのGe表面の金属フリー・原子レベル平坦化

Research Project

Project/Area Number 24686020
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

有馬 健太  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (10324807)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2016-03-31
Keywords生産工学 / ナノ材料 / 表面科学 / グラフェン
Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、金属汚染が一切残留しない条件下でGe単結晶表面を原子レベルで平坦化できる、純水中の溶存酸素を介した低環境負荷・超清浄型の表面創成プロセスを開発することである。これを実現するためにはまず、非金属系の酸素還元触媒を開発することが必要である。そこで昨年度は、既に実績報告書に記載のように、以下に示す知見を得た。
(1)触媒活性を上げることを目的として、グラフェンフレークに多くの窒素(N)原子をドーピングすることに取り組んだ。そして、Nドーピングを行う前の酸化グラフェンの作製方法を最適化することによって、一昨年度までよりも高濃度のN原子を含有したグラフェンフレークを形成することが可能になった。
(2)電気化学測定により、形成したグラフェン触媒の酸素還元活性を反応電子数の観点から評価した。そして、形成したグラフェン触媒が、白金とグラッシーカーボンの中間の活性を持つことが分かった。またその過程で、形成したグラフェン触媒をナフィオンにより基材上に固定化する手法を習得した。
(3)水分子の吸着反応チャンバーを備えた真空一貫型のプローバーを開発した。そして、Ge表面に水分子が吸着した時に起こる、水分子とGe基板間での電子移動のメカニズムに関する基礎的知見を得た。
(4)得られたグラフェン触媒を用いてGe表面のエッチング実験を行った。純水中の溶存酸素量制御条件下でのGe表面のエッチングレート等を算出し、本提案手法の基盤を構築した。
昨年度までに計画は概ね順調に推移したが、重要な成果が年度の最終段階で得られたため、外部に公表する機会を逸していた。そのため今年度は、上記の成果を論文や解説記事、学会発表(計15件)にて広く公表した。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (17 results)

All 2016 2015 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (12 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Invited: 1 results)

  • [Int'l Joint Research] ローレンスバークレー国立研究所(米国)

    • Country Name
      U.S.A.
    • Counterpart Institution
      ローレンスバークレー国立研究所
  • [Journal Article] Catalyst-assisted Electroless Flattening of Ge Surfaces in Dissolved-O2-containing Water2015

    • Author(s)
      Tatsuya Kawase, Yusuke Saito, Atsushi Mura, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita, Kazuto Yamauchi, Kenta Arima
    • Journal Title

      ChemElectroChem

      Volume: 2 Pages: 1656-1659

    • DOI

      10.1002/celc.201500245

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Microfluidic valve array control system integrating a fluid demultiplexer circuit2015

    • Author(s)
      Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita and Shuichi Shoji
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 25 Pages: 065016 1-7

    • DOI

      10.1088/0960-1317/25/6/065016

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 水中での溶存酸素を介したGe表面の金属アシストエッチングの基礎特性2015

    • Author(s)
      有馬健太、川合健太郎、森田瑞穂
    • Journal Title

      表面科学

      Volume: 36 Pages: 369-374

    • DOI

      10.1380/jsssj.36.369

    • Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 洗浄技術のコツ ―Si表面のウェット洗浄―2015

    • Author(s)
      有馬健太
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 84 Pages: 1009-1012

  • [Presentation] Segregation of ions in deliquesced droplets of alkali-halide nano-crystals on SiO22016

    • Author(s)
      Kenta Arima
    • Organizer
      International Conference and Exhibition on Materials Chemistry
    • Place of Presentation
      スペイン・バレンシア
    • Year and Date
      2016-04-01 – 2016-04-01
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] グラフェン触媒を援用した水中でのGe表面エッチングの基礎検討2016

    • Author(s)
      森大地、中出和希、佐藤慎祐、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      2016年応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学・東京都・目黒区
    • Year and Date
      2016-03-21 – 2016-03-21
  • [Presentation] 半導体表面加工に用いるグラフェン系触媒の合成と電気化学的評価2016

    • Author(s)
      佐藤慎祐、森大地、中出和樹、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      2016年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学・千葉県・野田市
    • Year and Date
      2016-03-16 – 2016-03-16
  • [Presentation] 水中で酸素還元触媒と接触したGe表面のエッチング特性と平坦化への応用2016

    • Author(s)
      中出和希、森大地、川瀬達也、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理-
    • Place of Presentation
      東レ研修センター・静岡県・三島市
    • Year and Date
      2016-01-22 – 2016-01-22
  • [Presentation] 触媒金属の酸素還元活性を利用した水中でのGe表面の平坦化2015

    • Author(s)
      有馬健太、川瀬達也、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、森田瑞穂、山内和人
    • Organizer
      2015年真空・表面科学合同講演会
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場・茨城県・つくば市
    • Year and Date
      2015-12-01 – 2015-12-01
  • [Presentation] Origin of Anomalous Positive Charging of Water-adsorbed Thin GeO2 Films Studied by Ambient-pressure XPS2015

    • Author(s)
      K. Arima, D. Mori, Y. Saito, H. Oka, K. Kawai, T. Hosoi, M. Morita, H. Watanabe and Z. Liu
    • Organizer
      16th European Conference on Application of Surface and Interface Analysis
    • Place of Presentation
      スペイン・グラナダ
    • Year and Date
      2015-10-01 – 2015-10-01
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 酸素還元活性を持つ触媒金属による水中でのGe表面平坦化の試み2015

    • Author(s)
      有馬 健太、川瀬 達也、齋藤 雄介、川合 健太郎、佐野 泰久、山内 和人、森田 瑞穂
    • Organizer
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場・愛知県・名古屋市
    • Year and Date
      2015-09-16 – 2015-09-16
  • [Presentation] 水分子が吸着したGeO2/Ge構造の特異な帯電状態のAP-XPS観測2015

    • Author(s)
      有馬 健太、森 大地、岡 博史、細井 卓治、川合 健太郎、Liu Zhi、渡部 平司、森田 瑞穂
    • Organizer
      2015年応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場・愛知県・名古屋市
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-13
  • [Presentation] 酸素還元触媒を用いた水中でのGe表面の平坦化に関する研究 ~触媒材料の検討~2015

    • Author(s)
      中出和希、森大地、齋藤雄介、川合健太郎、佐野泰久、山内和人、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      2015年度精密工学会秋季大会
    • Place of Presentation
      東北大学・宮城県・仙台市
    • Year and Date
      2015-09-05 – 2015-09-05
  • [Presentation] O2還元活性を持つグラフェン触媒の合成と性能評価2015

    • Author(s)
      森 大地、中出和希、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • Place of Presentation
      京都工芸繊維大学・京都府・京都市
    • Year and Date
      2015-06-23 – 2015-06-23
  • [Presentation] 単一グラフェンフレークによる水中での Ge 表面のエッチング特性2015

    • Author(s)
      中出和希、森 大地、齋藤雄介、川合健太郎、森田瑞穂、有馬健太
    • Organizer
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • Place of Presentation
      京都工芸繊維大学・京都府・京都市
    • Year and Date
      2015-06-23 – 2015-06-23
  • [Presentation] Metal-Assisted Etching of Ge Surfaces in Water: From Pit Formation to Flattening2015

    • Author(s)
      Kenta Arima, Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi and Mizuho Morita
    • Organizer
      2015 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • Place of Presentation
      米国・サンフランシスコ
    • Year and Date
      2015-04-06 – 2015-04-06
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-01-06   Modified: 2022-01-27  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi