2013 Fiscal Year Research-status Report
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24750212
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| Research Institution | 地方独立行政法人大阪市立工業研究所 |
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Principal Investigator |
品川 勉 地方独立行政法人大阪市立工業研究所, 電子材料研究部, 研究員 (50416327)
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| Keywords | ナノロッドアレイ / 酸化亜鉛 |
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| Research Abstract |
本研究は、酸化亜鉛の電解析出技術を使用してナノロッドアレイ形成用のテンプレートを形成し、更にそのテンプレートを利用してナノロッド形状を有する種々の酸化物半導体および金属を電解析出法で形成することを目的とする。酸化亜鉛は、六方晶ウルツ鉱構造をもつ酸化物半導体であり、結晶表面エネルギーに大きな異方性を有することから、自発的にロッド形状に成長する特徴をもつ。成膜法としては、スパッタなどの気相成長法および水熱合成法などの溶液成長法など多岐にわたるが、本研究では、平衡状態に近い結晶成長の場を提供でき、かつ大面積化が容易な電解析出法を用いている。
今年度は、電解析出法で形成した酸化亜鉛ナノロッドアレイをベースとしたポリマーテンプレートの開発を実施した。ポリマーの種類や塗布方法など種々検討した結果、酸化亜鉛ナノロッド間の隙間に充填可能な条件を見出すことができた。一方で、酸化亜鉛ナノロッド間に隙間がなく、ポリマーが基板まで到達してない箇所も存在することが明らかとなった。
この課題を解決するため、酸化亜鉛ナノロッドの成長密度を従来よりも小さくし、ナノロッド間に十分な隙間ができる電解析出条件の検討を行った。ナノロッドの成長密度は、全ての電解析出パラメーター（溶液濃度、温度、析出速度、基板）が複合的に影響し合っているため、成長密度だけを制御することは困難である。そこで、従来の電解析出条件に加えて新たに添加剤の検討を行い、種々実験した結果、ナノロッドの粒径を維持しつつ、成長密度を減少して酸化亜鉛ナノロッドを形成することに成功した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
オリジナルテンプレートとなる酸化亜鉛ナノロッドの成長密度制御およびポリマー塗布条件を見出しており、次のステップに進むことができるため。
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| Strategy for Future Research Activity |
今後の方針として、今年度の研究で得られた隙間のある酸化亜鉛ナノロッド及びポリマー塗布条件を組み合わせてテンプレートを作製し、これをもって酸化物半導体や金属のナノロッドアレイ形成を試みる。得られたナノロッドの形状、密着性等を評価し、テンプレート形成プロセスの確立を目指す。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
計画的かつ継続可能な研究を実施するため。
次年度の研究遂行に必要な基板や試薬などの購入に使用する。
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