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2013 Fiscal Year Annual Research Report

高品質半極性面InGaNテンプレート上LEDの光学・発光特性の解明

Research Project

Project/Area Number 24760012
Research InstitutionYamaguchi University

Principal Investigator

岡田 成仁  山口大学, 理工学研究科, 助教 (70510684)

KeywordsLED / 非極性面 / InGaN / 偏光特性 / 高効率化
Research Abstract

本研究課題の最終目的は高効率緑色LEDを目指した高品質な非極性面InGaN結晶を用いた高効率LEDの作製及び諸特性の評価である。
平成24年度の研究計画はInGaNの選択横方向成長による高品質化及び結晶評価を掲げた。その過程において、InGaNの高品質化には必ずしも選択横方向成長は不要であることを見出した。すなわち、高品質非極性面GaN上にInGaNを成長させた場合、In組成と膜厚をうまくコントロールすることによって、新たに発生する転位をInGaN/GaN界面でストップさせることに成功した。その成長条件はIn組成10%未満、膜厚1um程度である。これによって、高品質なInGaNを当初の研究計画より、より簡便な方法で得ることに成功した。
平成25年度の研究計画には、上記高品質非極性面InGaNテンプレート上のLEDの作製とその諸特性の評価を掲げた。その結果、InGaNの膜厚とIn組成を変化さえることによってLEDの偏光特性を自在に制御することが可能であることを見出した。これは発光層に加わる歪をInGaNテンプレートによって変化させていることに起因する。この成果は液晶を用いたLEDディスプレーの高効率化を可能にし、LDの低域値電流密度に貢献する可能性を秘めている。また、高品質InGaN下地層を用いることによって、LEDの発光強度を最大で4倍程度向上させることに成功した。これはInGaNテンプレートが高品質であることを証明するものである。特に高電流注入時に効果的であることを見出した。現在、LEDは高電流注入時の低効率となる問題を抱えているが、非極性面InGaNテンプレートが該問題に対して有用であることを実証した。

  • Research Products

    (33 results)

All 2014 2013

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (29 results) (of which Invited: 5 results)

  • [Journal Article] Generation of dislocation clusters by glide m-planes in semipolar GaN layers2014

    • Author(s)
      N. Okada, A. Ishikawa, K. Yamane, K. Tadatomo, U. Jahn, and H. T. Grahn
    • Journal Title

      Phys. Stat. Solidi (a)

      Volume: 211, No. 4 Pages: 736-739

    • DOI

      10.1002/pssa.201300465

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Growth of semipolar {11-22} GaN using SiNx intermediate layer by hydride vapor phase epitaxy2014

    • Author(s)
      M. Ueno, Y. Hashimoto, K. Yamane, N. Okada, and K. Tadatomo
    • Journal Title

      Phys. Stat. Solidi (c)

      Volume: 11, No. 3-4 Pages: 557-560

    • DOI

      10.1002/pssc.201300520

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Characterization of semipolar {11-22} light-emitting diodes using a hole blocking layer2014

    • Author(s)
      K. Nakao, M. Haziq, Y. Okamura, K. Yamane, N. Okada, and K. Tadatomo
    • Journal Title

      Phys. Stat. Solidi (c)

      Volume: 11, No. 3-4 Pages: 775-777

    • DOI

      10.1002/pssc.201300511

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Semipolar GaN Growth on Patterned Sapphire Substrates by Hydride Vapor Phase Epitaxy2013

    • Author(s)
      K. Yamane, N. Okada, H. Furuya, K. Tadatomo
    • Journal Title

      Proc. SPIE

      Volume: 8625 Pages: 862503 1-7

    • DOI

      org/10.1117/12.2007376

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Evaluation of the Optical Polarization Properties in Semi-Polar {11-22} LEDs2014

    • Author(s)
      Y. Okamura, K. Nakao, N. Okada, K. Yamane, and K. Tadatomo
    • Organizer
      Conference on LED and Its Industrial Application ’14 (LEDIA ’14), LED4-12, Pacifico Yokohama
    • Place of Presentation
      Pacifico Yokohama, (Yokohama, Japan)
    • Year and Date
      20140422-20140424
  • [Presentation] abrication of InGaN Based Light-Emitting Diode Using Freestanding {20-21} GaN Substrate2014

    • Author(s)
      Y. Denpo, Y. Mitsui, K. Yamane, N. Okada, and K. Tadatomo
    • Organizer
      Conference on LED and Its Industrial Application ’14 (LEDIA ’14), LED4-12, Pacifico Yokohama
    • Place of Presentation
      Pacifico Yokohama, (Yokohama, Japan)
    • Year and Date
      20140422-20140424
  • [Presentation] 自立{20-21}GaN基板を用いたInGaN系LED構造の作製2014

    • Author(s)
      傳寶裕晶, 光井勇祐, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2014年春季第61回応用物理学会関係連合学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学(東京都渋谷区)
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] HVPEの成長条件が厚膜{20-21} GaNの結晶性に与える影響2014

    • Author(s)
      橋本健宏,山根啓輔,岡田成仁,只友一行
    • Organizer
      2014年春季第61回応用物理学会関係連合学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学(東京都渋谷区)
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] ハイドライド気相成長法による半極性面GaNの再成長2014

    • Author(s)
      稲垣卓志, 橋本健宏, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2014年春季第61回応用物理学会関係連合学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学(東京都渋谷区)
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] ハイドライド気相成長法を用いた成長条件の最適化による半極性面{11-22}GaNの基底面積層欠陥の低減2014

    • Author(s)
      上野 元久,山根 啓輔, 岡田 成仁, 只友 一行
    • Organizer
      2014年春季第61回応用物理学会関係連合学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学(東京都渋谷区)
    • Year and Date
      20140317-20140317
  • [Presentation] プラズモン効果を目指した薄膜p層を有するInGaN系LEDの作製2014

    • Author(s)
      塚田哲朗, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行, 立石和隆,岡本晃一
    • Organizer
      2014年春季第61回応用物理学会関係連合学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学(東京都渋谷区)
    • Year and Date
      20140317-20140317
  • [Presentation] Evaluation of Heteroepitaxially Grown Semipolar {20-21}GaN on Patterned Sapphire Substrate2013

    • Author(s)
      Y. Hashimoto, M. Koyama, T. Inagaki, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      International Symposium on Optomechatronic Technologies 2013 (ISOT2013)
    • Place of Presentation
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju Island (Korea)
    • Year and Date
      20131028-20131030
    • Invited
  • [Presentation] Advancement in Future Applications with III-Nitrides by Fusion Technology between Epitaxy and Processing2013

    • Author(s)
      K. Tadatomo, N. Okada, K. Yamane, H. Furuya, Y. Hashimoto
    • Organizer
      International Workshop on Ultra-Precision Processing for III Nitride Semiconductor and Devices (WUPP for Nitride)
    • Place of Presentation
      Santa Barbara(USA)
    • Year and Date
      20131016-20131018
    • Invited
  • [Presentation] Hydride vapor phase epitaxy of semipolar GaN using GaN templates grown on patterned sapphire substrates2013

    • Author(s)
      N. Okada, H. Furuya, Y. Hashimoto, K. Yamane, K. Tadatomo
    • Organizer
      8th International Workshop on Bulk Nitride Semiconductors (IWBNS-VIII)
    • Place of Presentation
      Kloster Seeon, Bavaria(Germany)
    • Year and Date
      20130930-20131005
    • Invited
  • [Presentation] Improvement on Flatness of GaN Layer and Utilization Efficiency of Ga Source by Flow Modulation on Hydride Vapor Phase Epitaxy2013

    • Author(s)
      K. Yamane, Y. Hashimoto, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      8th International Workshop on Bulk Nitride Semiconductors (IWBNS-VIII)
    • Place of Presentation
      Kloster Seeon, Bavaria (Germany)
    • Year and Date
      20130930-20131005
    • Invited
  • [Presentation] サファイア加工基板を用いた{20-21} GaN成長における積層欠陥の抑制2013

    • Author(s)
      橋本健宏, 小山正和, 稲垣卓志, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      同志社大学(京都府京田辺)
    • Year and Date
      20130916-20130920
  • [Presentation] InGaN下地層および正孔ブロッキング層を用いた半極性 {11-22} LEDの作製及び評価2013

    • Author(s)
      中尾洸太, Muhammad Haziq, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      同志社大学(京都府京田辺)
    • Year and Date
      20130916-20130920
  • [Presentation] ハイドライド気相成長法による自立{20-21}GaN基板の作製とLED応用2013

    • Author(s)
      山根啓輔, 橋本健宏, 稲垣卓志, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      同志社大学(京都府京田辺)
    • Year and Date
      20130916-20130920
  • [Presentation] Characterization of structural defects in {20-21} GaN Layers on {22-43} Patterned Sapphire Substrates2013

    • Author(s)
      T. Inagaki, K. Yamane, Y. Hashimoto, M. Koyama, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      JSAP-OSA Joint Symposia 2013
    • Place of Presentation
      Doshisya University(Kyoto Tanabe)
    • Year and Date
      20130916-20130918
  • [Presentation] Analysis of Surface Potential of Various Oriented GaN layers via Kelvin Force Microscopy2013

    • Author(s)
      N. Okada, T. Yamamoto, K. Yamane, K. Tadatomo
    • Organizer
      JSAP-OSA Joint Symposia 2013
    • Place of Presentation
      Doshisya University(Kyoto Tanabe)
    • Year and Date
      20130916-20130918
  • [Presentation] Improvement in semipolar GaN substrate grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy2013

    • Author(s)
      Y. Hashimoto, H. Furuya, M. Ueno, M. Koyama, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      JSAP-OSA Joint Symposia 2013
    • Place of Presentation
      Doshisya University(Kyoto Tanabe)
    • Year and Date
      20130916-20130918
  • [Presentation] Progress in semipolar GaN on patterned sapphire substrates by HVPE2013

    • Author(s)
      N. Okada, K. Yamane, K. Tadatomo
    • Organizer
      JSAP-OSA Joint Symposia 2013
    • Place of Presentation
      Doshisya University (Kyoto)
    • Year and Date
      20130916-20130918
    • Invited
  • [Presentation] Fabrication of freestanding {20-21} GaN substrates by HVPE and LED application2013

    • Author(s)
      K. Yamane, Y. Hashimoto, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      10th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-10)
    • Place of Presentation
      Washington DC Metropolitan Area(USA)
    • Year and Date
      20130825-20130830
  • [Presentation] Generation of Defects by Glide m-planes in Semipolar GaN Layers2013

    • Author(s)
      N. Okada, A. Ishikawa, K. Yamane, K. Tadatomo, U. Jahn, H. T. Grahn
    • Organizer
      10th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-10)
    • Place of Presentation
      Washington DC Metropolitan Area(USA)
    • Year and Date
      20130825-20130830
  • [Presentation] Improvement in semipolar {11-22} GaN grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy2013

    • Author(s)
      Y. Hashimoto, H. Furuya, M. Ueno, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      10th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-10)
    • Place of Presentation
      Washington DC Metropolitan Area(USA)
    • Year and Date
      20130825-20130830
  • [Presentation] Reduction of Defects in Semipolar {11-22} GaN Using SiNx Intermediate layer by Hydride Vapor Phase Epitaxy2013

    • Author(s)
      M. Ueno, Y. Hashimoto, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      10th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-10)
    • Place of Presentation
      Washington DC Metropolitan Area(USA)
    • Year and Date
      20130825-20130830
  • [Presentation] Improvement in Semipolar {11-22} Light-Emitting Diodes Using Combination of InGaN Underlying Layer and Hole Blocking Layer2013

    • Author(s)
      K. Nakao, K. Uchida, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      10th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-10)
    • Place of Presentation
      Washington DC Metropolitan Area(USA)
    • Year and Date
      20130825-20130830
  • [Presentation] HVPE成長したサファイア加工基板上厚膜 {20-21} GaNの積層欠陥の挙動2013

    • Author(s)
      稲垣卓志, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      2013年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      香川大学(香川県高松市)
    • Year and Date
      20130728-20130728
  • [Presentation] Analysis of surface potential of GaN layers by Kelvin Force Microscopy2013

    • Author(s)
      N. Okada, T. Yamamoto, K. Yamane, K. Tadatomo
    • Organizer
      32nd Electronic Materials Symposium (EMS-32)
    • Place of Presentation
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)
    • Year and Date
      20130710-20130712
  • [Presentation] サファイア加工基板上{20-21}GaNの積層欠陥の低減2013

    • Author(s)
      小山正和, 稲垣卓志, 橋本健宏, 山根啓輔, 岡田成仁, 只友一行
    • Organizer
      ナノ構造・エピタキシャル成長分科会第5回窒化物半導体結晶成長講演会
    • Place of Presentation
      大阪大学(大阪府吹田市)
    • Year and Date
      20130621-20130622
  • [Presentation] Hydride vapor phase epitaxy of semipolar GaN using GaN templates grown on patterned sapphire substrates2013

    • Author(s)
      N. Okada, H. Furuya, Y. Hashimoto, K. Yamane, and K. Tadatomo
    • Organizer
      E-MRS 2013 SPRING MEETING
    • Place of Presentation
      Congress Center - Strasbourg(France)
    • Year and Date
      20130527-20130531
  • [Presentation] {11-22} Semipolar Light Emitting Diodes Using Relaxed Thick InGaN Layers with Various In Compositions and Thickness2013

    • Author(s)
      N. Okada, K. Uchida, K. Yamane, and K. Tadatomo
    • Organizer
      E-MRS 2013 SPRING MEETING
    • Place of Presentation
      Congress Center - Strasbourg(France)
    • Year and Date
      20130527-20130531
  • [Presentation] Transmission Electron Microscope Characterization on {20-21} GaN Layers on Patterned Sapphire Substrates2013

    • Author(s)
      T. Inagaki, K. Yamane, Y. Hashimoto, M. Koyama, N. Okada, K. Tadatomo
    • Organizer
      The 6th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2012)
    • Place of Presentation
      New Taipei City(Taiwan)
    • Year and Date
      20130512-20130515

URL: 

Published: 2015-05-28  

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