2013 Fiscal Year Annual Research Report
研削面創成メカニズムの解明および超安定超精密研削への応用
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24760096
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| Research Institution | Iwate University |
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Principal Investigator |
吉原 信人 岩手大学, 工学部, 准教授 (80374958)
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| Keywords | 超精密超安定研削 / ナノトポグラフィー / 統計的研削理論 / 研削面粗さ / 研削面うねり |
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| Research Abstract |
本研究は，研削面を平滑化・均一化するために最適な研削条件を明らかにすることを目的とする．そのために平成24年度に確立した統計的研削理論およびナノトポグラフィー創成理論を基に，平成25年度はこの2つの理論の統合および研削条件選定指針の解明を行った．また最適な研削条件として導出された結果を，実際の研削に正確に反映させるシステムの構築を行った．
研削条件の最適化に関しては，研削面研削面粗さと研削面うねり（ナノトポグラフィー）分布のそれぞれが良好になる最適条件が周期的に存在することを明らかとし，選定すべき研削条件およびその精度を理論的に求めた．また研削面の均一性を評価する指針としてばらつき幅を定義し，均一性が良好になる研削条件も明らかにした．
最適な研削条件を正確に実際の研削条件に反映させるために，まず工作物と砥石の相対的な運動を観測する必要があった．そこで砥石の振動を精密なバランサで測定し，工作物の動きを非接触レーザ変位計で測定することを可能にした．これらの測定結果を基に実際の研削条件のモニタリングを可能にした．この実際の研削条件と理論的に最適な研削条件との差を求め，研削条件に補正を加えるシステムを提案した．
研究期間を通じで，研削面創成メカニズムを解明し研削条件が研削面粗さ，ナノトポグラフィー分布，均一性に及ぼす影響を理論的に検討することを可能にした．その結果，研削面の平滑化・均一化が達成される研削条件の導出が可能となった．また実際の研削条件に対して最適な研削条件になるよう補正を加えることにより，実際の研削面を平滑化・均一化することを可能とした．
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