紫外光照射による光化学反応を重畳したＳｉＣ単結晶の高能率鏡面研削

2012 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 24760105
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Research Institution: Kyoto Institute of Technology
• Principal Investigator: 山口 桂司 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 助教 (00609282)
• Project Period (FY): 2012-04-01 – 2015-03-31
• Keywords: SiC / UVアシスト

Research Abstract

UVアシスト研削に必要不可欠なUV照射光源を購入し，SiC単結晶のUVアシスト研削における延性モード領域を特定するために必要な，漸増切込み切削試験機を製作した．簡単な動作チェックは実施済みであるが，基本性能の確認までは行えていない．平成25年度には，平成24年度からの繰越金と平成25年度に請求する研究費とを合算し，切削動力計もしくは3次元ロードワッシャを購入し，漸増切込み切削試験機に組み込むことで，切削抵抗の測定が可能な装置に完成させる．

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

申請当初には当該年度に購入予定であった切削動力計が，間接経費譲渡による資金不足で未購入の状態である．そのため，漸増切込み切削試験機の基本性能の確認が行えていない状態である．

Strategy for Future Research Activity

切削動力計もしくは３次元ロードワッシャを購入し，漸増切込み切削試験機に組み込んだ後，漸増切込み切削試験におけるUV照射の有無による切削抵抗の変化を明らかにする．また，同時に延性モード領域の比較を行い，研削加工におけるUV照射の有効性を検証する．一方，実際に研削加工を行うための砥石の開発を進める．平成25年度中に試作砥石を完成させ，UVアシスト研削を可能とするため，石英製の円盤などのコア材に組み込む．最終年度には，使用する砥粒の異なる砥石（例えば酸化セリウムや酸化チタンなど）を試作し，その研削特性を評価する．

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

申請当初，切削動力計は初年度に購入予定であったが，予算不足および計画から遅れが生じたため未購入であり，当該年度の予算に残額が生じた．したがって，平成24年度からの繰越金と平成25年度分として請求した研究費とを合算し，切削動力計もしくは3次元ロードワッシャを購入し，漸増切込み切削試験機に組み込むことで，切削抵抗の測定が可能な装置に完成させる．また，砥石製作のための費用として使用する．