紫外光照射による光化学反応を重畳したＳｉＣ単結晶の高能率鏡面研削

2013 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 24760105
• Research Institution: Kyoto Institute of Technology
• Principal Investigator: 山口 桂司 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 助教 (00609282)
• Keywords: SiC / フォースプレート

Research Abstract

3次元の力計測が可能な薄型移動式フォースプレートを購入し，漸増切込み切削試験機に組み込み，基礎的な性能試験を行った．性能試験はソーダ石灰ガラスを工作物とする予備実験で行った．予備実験の結果，切込みが大きくなるにつれて鉛直方向の力（背分力）が徐々に大きくなり，脆性破壊の発生とともに波形が大きく乱れることを確認した．また，工作物の傾斜角度は可能な限り小さくしておくことで，延性モード切削から脆性モードへの遷移点を明確にできるものと予想できる結果を得た．平成26年度には，実際にSiCを工作物として試験を行うことで，紫外光有無による切削抵抗の差を明らかにする．また，その結果をもとに研削用砥石を作成し，基礎的な研削性能を評価する．

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

3次元の力計測が可能な薄型移動式フォースプレートを購入し，漸増切込み切削試験機に組み込んだ．しかしながら，フォースプレートの不具合が多数生じたため，装置の完成・調整が1月中旬まで後ろ倒しになってしまった．このため，ソーダ石灰ガラスを用いた予備実験のみ行えた状態である．今後は，SiCに対する実験条件を決定し，紫外光照射の有効性を調査する本実験に取り組む．

Strategy for Future Research Activity

ソーダ石灰ガラスを用いた予備実験の結果をもとに，SiCに対する実験条件を決定する．切込み速度・傾斜角度をそれぞれ3種類に変更することで比較を行う．また，紫外光照射の有効性評価においては，①紫外光照射なし，②事前に紫外光を30分程度照射したSiCに対する実験，③漸増切込み試験時に直接紫外光を照射する実験の3パターンの実験を行う．一方，試作砥石による研削実験では，定圧研削を模擬した予備実験を行い，基礎的な研削特性を評価することで，実際のウェハ研削の条件決定を行う．決定した実験条件をもとにウェハ研削を行い，UVアシスト研削の有効性を調査する．研削前後のSiCウェハは走査型白色干渉計を用いた表面粗さ計測，レーザー斜入射干渉方式平面度測定装置による平面度測定，赤外線光弾性装置によるひずみ評価を行う予定である．