2014 Fiscal Year Annual Research Report
ミリ波帯超高速無線通信に向けた高効率アンテナ一体型チップに関する研究
Project/Area Number |
24760291
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Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
Principal Investigator |
平野 拓一 東京工業大学, 理工学研究科, 助教 (60345361)
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Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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Keywords | CMOS / オンチップ / アンテナ / シリコン / 導電率 / 電磁界シミュレーション / 低損失化 / イオン照射 |
Outline of Annual Research Achievements |
本研究課題では、ミリ波帯超高速無線通信に向けた高効率アンテナ一体型チップに関する研究を行った。従来、ミリ波帯オンチップアンテナは導電性シリコン(Si)基板の損失のために放射効率(アンテナへの入力エネルギーのうち、放射に寄与するエネルギーの割合。他は熱損失となって消えるエネルギー)が非常に低いことが知られていた。本課題は放射効率低下の問題点を追及して原因を調べ、改善して高効率なオンチップアンテナの実現を目指すことを目的とするものである。 本研究課題で得られた成果は次のようである。Heイオン照射により、Si基板が高抵抗化されることが知られている。Si基板へのHeイオン照射によって抵抗率10Ωcmの基板を1kΩcm以上にすることができることを実験で確認し、スパイラルインダクタの特性(Q値)が向上することを実測およびシミュレーションで確認した。また、オンチップダイポールアンテナの利得は3~4dB程度改善して60GHz帯において-2~-4dBi程度の利得のアンテナが実現できることを実験で確認した。今後、近接無線通信およびチップ間通信のアンテナとして実用化することが期待できる。
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Research Products
(12 results)
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[Presentation] High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits2014
Author(s)
N. Li, K. Okada, T. Inoue, T. Hirano, Q. Bu, A.T. Narayanan, T. Siriburanon, H. Sakane, A. Matsuzawa
Organizer
IEEE Symposium on VLSI Technology (VLSI Technology)
Place of Presentation
Honolulu, Hawaii, US
Year and Date
2014-07-09 – 2014-07-13
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[Presentation] A 17-mW 5-Gb/s 60-GHz CMOS Transmitter with Efficiency-Enhanced On-Chip Antenna2014
Author(s)
R. Wu, W. Deng, S. Sato, T. Hirano, N. Li, T. Inoue, H. Sakane, K. Okada, A. Matsuzawa
Organizer
IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium (RFIC)
Place of Presentation
Tampa, FL, USA
Year and Date
2014-06-02 – 2014-06-04
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