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2013 Fiscal Year Final Research Report

Systematic Studies on the Mechanism Elucidation of Tribromosilane Recovery Reaction for the High Conversion Efficiency

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 24760694
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeMulti-year Fund
Research Field Recycling engineering
Research InstitutionUbe National College of Technology (2013)
Yamaguchi University (2012)

Principal Investigator

TOMONO KAZUAKI  宇部工業高等専門学校, 物質工学科, 助教 (40516449)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2014-03-31
Keywords再資源化 / 反応速度解析 / ブロモシラン / 流通反応系 / ハロゲン化シラン / 水素化反応
Research Abstract

Tribromosilane recovery reaction of vaporized tetrabromosilane with hydrogen gaseous has been monitored by mean of online gas chromatography in a flow reactor system. The tetrabromosilane conversion was reached to about 50 % at 700 C. An experiment with tetrachlorosilane under the same conditions led to a decrease in tetrachlorosilane conversion efficiency. This demonstrates that recovery reaction from tetrabromosilane to tribromosilane is energetically favorable compared to that of tetrachlorosilane, as predicted from the thermodynamic calculation for the pseudo first order reaction in a flow reactor. Finally, the rate constant for overall recovery reaction at 550 C and 600 C was measured to be 0.0162 /s and 0.128 /s, respectively.

  • Research Products

    (21 results)

All 2014 2013 2012 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (17 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Recycling of Kerf Loss Silicon Derived from Diamond-wire Saw Cutting Process by Chemical Approach2013

    • Author(s)
      K. Tomono, S. Miyamoto, T. Ogawa, H. Furuya, Y. Okamura, M. Yoshimoto, R. Komatsu, M. Nakayama
    • Journal Title

      Sep. Purif. Technol

      Volume: 120 Pages: 304-309

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Chemical Vapor Deposition of Silicon by the Reaction of Bromosilanes and Hydrogen2013

    • Author(s)
      K. Tomono, H. Furuya, S. Miyamoto, T. Ogawa, Y. Okamura, R. Komatsu, M. Nakayama
    • Journal Title

      ECS trans

      Volume: 50(5) Pages: 81-86

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Investigations on hydrobromination of silicon in the presence of silicon carbide abrasives as a purification route of kerf loss waste2012

    • Author(s)
      K. Tomono, H. Furuya, S. Miyamoto, Y. Okamura, M. Sumimoto, Y. Sakata, R. Komatsu, M. Nakayama
    • Journal Title

      Sep. Purif. Technol

      Volume: 103 Pages: 109-113

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] トリブロモシラン-テトラブロモシラン混合溶液を用いたSi薄膜の電気化学析出2014

    • Author(s)
      友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,中山雅晴
    • Organizer
      日本化学会第94回春季年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス(ポスター)
    • Year and Date
      2014-03-29
  • [Presentation] 非水溶媒中でのSiBr_4の電気化学的還元によるSi電析2013

    • Author(s)
      友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,山口亮太,中山雅晴
    • Organizer
      2013年日本化学会中国四国支部大会
    • Place of Presentation
      広島大学東広島キャンパス(ポスター)
    • Year and Date
      20131116-17
  • [Presentation] テトラハロシランからのシリコン析出における臭素系と塩素系の比較2013

    • Author(s)
      宮本成司,小川拓朗,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      2013年日本化学会中国四国支部大会
    • Place of Presentation
      広島大学東広島キャンパス(ポスター)
    • Year and Date
      20131116-17
  • [Presentation] 化学気相析出法によるテトラブロモシランからのポリシリコン形成2013

    • Author(s)
      小川拓朗,宮本成司,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      2013年日本化学会中国四国支部大会
    • Place of Presentation
      広島大学東広島キャンパス(口頭)
    • Year and Date
      20131116-17
  • [Presentation] 固定床反応装置でのテトラブロモシランの水素化反応によるトリブロモシランの生成2013

    • Author(s)
      友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      日本化学会第93回春季年会
    • Place of Presentation
      立命館大学びわこ・くさつキャンパス(ATPポスター)
    • Year and Date
      2013-03-23
  • [Presentation] 化学的手法による廃シリコンの再利用技術2013

    • Author(s)
      友野和哲,小川拓朗,宮本成司,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      化学工学会第78年会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス(口頭)
    • Year and Date
      2013-03-19
  • [Presentation] 流通反応系でのテトラブロモシランの水素化脱ブロモ化反応2013

    • Author(s)
      友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      化学工学会第78年会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス(口頭)
    • Year and Date
      2013-03-19
  • [Presentation] トリブロモシラン-テトラブロモシラン混合物を用いた多結晶Si析出2013

    • Author(s)
      友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      化学工学会第78年会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス(口頭)
    • Year and Date
      2013-03-19
  • [Presentation] CVD法によるブロモシランからの多結晶Si析出2013

    • Author(s)
      古屋博敏,友野和哲,宮本成司,小川拓朗,中山雅晴
    • Organizer
      第13回MRS-J山口大学支部大会
    • Place of Presentation
      山口大学(口頭)
    • Year and Date
      2013-01-12
  • [Presentation] 化学気相法によるブロモシランからのシリコン析出反応2012

    • Author(s)
      友野和哲・古屋博敏・宮本成司・小川拓朗・小松隆一・中山雅晴
    • Organizer
      2012年日本化学会西日本大会
    • Place of Presentation
      佐賀大学(ポスター)
    • Year and Date
      2012-11-11
  • [Presentation] 高転換効率を指向したテトラブロモシランからのトリブロモシラン合成2012

    • Author(s)
      友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      2012年日本化学会西日本大会
    • Place of Presentation
      佐賀大学(口頭)
    • Year and Date
      2012-11-10
  • [Presentation] ブロモシラン生成反応を用いた廃シリコンスラッジの前処理方法の開発2012

    • Author(s)
      友野和哲・宮本成司・古屋博敏・小川拓朗・小松隆一・中山雅晴
    • Organizer
      2012年日本化学会西日本大会
    • Place of Presentation
      佐賀大学(口頭)
    • Year and Date
      2012-11-10
  • [Presentation] Chemical Vapor Deposition of Silicon by the Reaction of Bromosilanes and Hydrogen2012

    • Author(s)
      K. Tomono, H. Furuya, Seiji Miyamoto, Takuro Ogawa, Yuki Okamura, Ryuichi Komatsu, Masaharu Nakayama
    • Organizer
      222^<nd> ECS Meeting
    • Place of Presentation
      Honolulu (USA)(poster)
    • Year and Date
      2012-10-09
  • [Presentation] 廃Siスラッジに含有するSiC砥粒のブロモ化反応への影響2012

    • Author(s)
      小川拓朗,古屋博敏,宮本成司,友野和哲,中山雅晴
    • Organizer
      第18回中国四国支部分析化学若手セミナー
    • Place of Presentation
      山口県セミナーパーク(ポスター)
    • Year and Date
      2012-09-01
  • [Presentation] 廃Siスラッジのブロモ化反応に供するための不純物除去技術2012

    • Author(s)
      宮本成司,古屋博敏,小川拓朗,友野和哲,中山雅晴
    • Organizer
      第18回中国四国支部分析化学若手セミナー
    • Place of Presentation
      山口県セミナーパーク(ポスター)
    • Year and Date
      2012-09-01
  • [Presentation] 流通反応系における廃シリコンの臭素化反応2012

    • Author(s)
      友野和哲,古屋博敏,宮本成司,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      第49回化学関連支部合同九州大会
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場(ポスター)
    • Year and Date
      2012-06-30
  • [Presentation] 廃シリコンの化学的精製のための前処理法の開発2012

    • Author(s)
      友野和哲,宮本成司,古屋博敏,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴
    • Organizer
      第49回化学関連支部合同九州大会
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場(ポスター)
    • Year and Date
      2012-06-30
  • [Remarks]

    • URL

      http://u-search.ube-k.ac.jp/tc-data/15508

URL: 

Published: 2015-06-25  

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