Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
バンドギャップの大きいAlGaNにおいて、Al組成を75%まで高めることにより、超高耐圧のパワーデバイスを実現しようという本研究は極めて重要であり、独創性が高い。応募者が開発したパルス・スパッタ法による結晶成長法は独自なものであり、Al組成が50%の単層での成果に基づいた提案は堅実であり、目標への計画も確かである。