Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
応募者が独自に開発を進めてきた走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)を、さらに高感度化、広帯域化する研究である。本研究により、パワー半導体中のキャリア濃度分布観察や界面欠陥密度分布の観察が可能になれば、実用化の途にあるパワーデバイスの特性を欠陥などの理解にもとづいて大きく改善することが期待できる。