10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発

2024 Fiscal Year Comments on the Screening Results

• Project/Area Number: 24H00434
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 30:Applied physics and engineering and related fields
• Research Institution: Tokyo Polytechnic University
• Principal Investigator: 豊田 光紀 東京工芸大学, 工学部, 教授 (40375168)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 津留 俊英 山形大学, 地域教育文化学部, 教授 (30306526) ; 浅川 直紀 群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (80270924) ; 佐藤 庸平 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (70455856) ; 高田 昌樹 東北大学, 国際放射光イノベーション・スマート研究センター, 教授 (60197100)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31

Scientific Significance and Expected Research Achievements

学術的・社会的に極めて重要な内容であり、多層膜ミラー構造のLayer by layer化学エッチング法については独自性が高い。波面収差発生箇所についても十分な精度で特定する手法が確立されており、平面だけではなく、結像系に必要な凹面鏡に対応できるフォトレジスト露光用光学系も新規に提案されている点も高く評価できる。