2024 Fiscal Year Comments on the Screening Results

電離放射線用金属含有レジストの反応機構の解明

Research Project

Project/Area Number	24H00443
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Review Section	Medium-sized Section 31:Nuclear engineering, earth resources engineering, energy engineering, and related fields
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	古澤孝弘大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (20251374)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	室屋裕佐大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (40334320)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2029-03-31
Scientific Significance and Expected Research Achievements	次世代の半導体露光プロセスに向けた重元素を主体としたレジスト材料の開発につながる重要な研究であり、重元素を主体としたレジストとEUV光の反応を解明し、学問として体系化することを目的としており、学術的意義が大きい。様々な材料、現像液で実験を行う予定であり、成果が期待される。