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2014 Fiscal Year Annual Research Report

縦型ショットキースピントランジスタの創製

Research Project

Project/Area Number 25246020
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

浜屋 宏平  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (90401281)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 斉藤 好昭  株式会社東芝研究開発センター, その他部局等, その他 (80393859)
澤野 憲太郎  東京都市大学, 工学部, 准教授 (90409376)
Project Period (FY) 2013-04-01 – 2017-03-31
Keywordsスピントロニクス / MBE / 金属-半導体界面
Outline of Annual Research Achievements

昨年度は、Si基板上に高品質形成したGe/Fe3Siの2層膜を、Cuを純スピン流チャネルとした横型スピンバルブ素子にデバイス化し、Fe3Si層からGe層へのスピン注入・検出の実証を検討した。上記の2層膜を横型スピンバルブ素子へデバイス化するための微細加工プロセスの開発から着手した。電子線リソグラフィーおよびAr+ミリングを用いて2層構造の電極に加工し、電極側面を絶縁するためのSiO2を堆積した後、Cu細線とオーミック接合した横型スピンバルブ素子を作製した。作製した素子のCu/Ge/Fe3Siの2端子抵抗は、測定温度の低下に伴って単調に減少した後、100 K付近で上昇傾向に転じた。比較として、Cu/Fe3Si素子と結晶Ge薄膜の抵抗の温度特性を測定したところ、Cu/Fe3Si素子は測定温度の低下とともに単調に減少したが、結晶Ge薄膜は測定温度の低下に伴って単調に減少した後、100 K付近で上昇傾向に転じた。これらより、観測された2端子抵抗はGe層が支配的であり、作製した素子がGe層を介した伝導特性を観測可能な素子であることが判った。次に、非局所磁気抵抗測定を用い、Ge層からCu層への純スピン流の伝導(スピン信号)の観測を試みた。その結果、50 Kの低温ではあるが、明瞭なヒステリシス信号を観測した。スピン信号の温度依存性から、観測されたスピン信号がGe層へのスピン注入によって得られた結果であることが示唆された。観測されたスピン信号の大きさは、Ge層を介していないCu/Fe3Si素子の低温測定の結果と比較すると、1桁以上小さな値であるが、CuチャネルとFe3Si層の間にトータルで約100 nmのGe層を含んでいることを考慮すると、純スピン流の生成・検出に成功していることは注目に値する。今回の結果は,縦型スピン注入・検出素子を実現する上で重要な知見を得たことになる。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究では、これまで開発してきた強磁性金属上への半導体Ge薄膜成長技術[Cryst. Growth $ Des. 12, 4703 (2012)]を応用し、デバイス応用上必須であるSi基板上に、『強磁性金属/Geチャネル/強磁性金属』構造からなる縦型極短チャネルスピントランジスタを創成することを目的としている。
本年度は、これまでスピン伝導に関する知見が得られていなかった本構造において、Si基板上に高品質形成したGe/Fe3SiとCuを純スピン流チャネルとした横型スピンバルブ素子へとデバイス化し、Ge/Fe3Si界面を介したスピン伝導の観測に成功したことが非常に有意である。よっておおむね順調であると判断した。

Strategy for Future Research Activity

Si基板上に形成したハーフメタル合金Co2FeSiを純スピン流生成源、Cuを純スピン流チャネルとした横型スピンバルブ素子において、純スピン流生成源の多端子化により純スピン流生成効率を格段に向上できることが判明してきている。今後は、このハーフメタル上へのGe形成技術の高度化と縦型デバイス構造の作製時に同時に形成される『ハーフメタル純スピン流生成源』の多端子化も視野に入れ、低消費電力スピントランジスタの鍵技術である低消費電力書き込み技術まで検討する予定である。

  • Research Products

    (36 results)

All 2015 2014

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results,  Acknowledgement Compliant: 6 results) Presentation (30 results) (of which Invited: 10 results)

  • [Journal Article] Correlation between amplitude of spin accumulation signals investigated by Hanle effect measurement and effective junction barrier height in CoFe/MgO/n+-Si junctions2015

    • Author(s)
      Y. Saito, M. Ishikawa, H. Sugiyama, T. Inokuchi, K. Hamaya, N. Tezuka
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 117 Pages: 17C707-1~4

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4907242

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Spin-related thermoelectric conversion in lateral spin-valve devices with single-crystalline Co2FeSi electrodes2015

    • Author(s)
      Kento Yamasaki, Soichiro Oki, Shinya Yamada, Takeshi Kanashima and Kohei Hamaya
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 8 Pages: 043003-1~4

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.7567/APEX.8.043003

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] A pseudo-single-crystalline germanium film for flexible electronics2015

    • Author(s)
      H. Higashi, K. Kasahara, K. Kudo, H. Okamoto, K. Moto, J. -H Park, S. Yamada, T. Kanashima, M. Miyao, I. Tsunoda and K. Hamaya
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 106 Pages: 041902-1~5

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4906612

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Improvement of magnetic and structural stabilities in high-quality Co2FeSi1-xAlx/Si heterointerfaces2014

    • Author(s)
      S. Yamada, K. Tanikawa, S. Oki, M. Kawano, M. Miyao and K. Hamaya
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 105 Pages: 071601-1~4

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4893608

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Reliable reduction of Fermi-level pinning at atomically matched metal/Ge interfaces by sulfur treatment2014

    • Author(s)
      K. Kasahara, S. Yamada, T. Sakurai, K. Sawano, H. Nohira, M. Miyao and K. Hamaya
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 104 Pages: 172109-1~4

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4875016

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] An All-Epitaxial Fe3Si/FeSi/Co2FeSi Trilayer Grown by Room-Temperature Molecular Beam Epitaxy2014

    • Author(s)
      Junya Hirayama, Kohei Tanikawa, Makoto Kawano, Shinya Yamada, Masanobu Miyao, and Kohei Hamaya
    • Journal Title

      IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS

      Volume: 50 Pages: 4400703-1~3

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1109/TMAG.2014.2321426

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Generation and detection of pure spin currents through epitaxial Ge/Fe3Si heterostructures2015

    • Author(s)
      Makoto Kawano, Kohei Santo, Soichiro Oki, Shinya Yamada, Takeshi Kanashima, and Kohei Hamaya
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 金誘起層交換成長法で作成した擬似単結晶Geの電気伝導特性2015

    • Author(s)
      中野 茉莉央、東 英実、笠原 健司、山田晋也、金島 岳、浜屋 宏平
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] フレキシブル基板上への擬似単結晶Ge薄膜の形成2015

    • Author(s)
      東 英実、笠原 健司、工藤 康平、岡本 隼人、茂藤 健太、パク ジョンヒョク、山田 晋也、金島 岳、宮尾 正信、角田 功、浜屋 宏平
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 300℃以下プロセスで作製した結晶性GeチャネルTFT2015

    • Author(s)
      笠原 健司、永冨 雄太、山本 圭介、東 英実、中野 茉莉央、山田 晋也、金島 岳、中島 寛、浜屋 宏平
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 結晶性La2O3 /Ge(111)における電気特性のアニール効果2015

    • Author(s)
      銭高 真人、梶原 康裕、山田 晋也、浜屋宏平、金島 岳
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 原子マッチングを利用した結晶性La2O3 high-k/Ge(111)構造の作製2015

    • Author(s)
      金島 岳、梶原 康裕、銭高 真人、山田 晋也、浜屋 宏平
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] エピタキシャルCo3-xFexSi電極を有する横型スピンバルブ素子構造におけるスピン依存熱電効果2015

    • Author(s)
      山嵜 賢人、沖 宗一郎、山田 晋也、金島 岳、浜屋 宏平
    • Organizer
      平成26年度スピン変換年次総会
    • Place of Presentation
      京都大学 桂キャンパス ローム記念館 (京都市左京区)
    • Year and Date
      2015-03-03 – 2015-03-04
  • [Presentation] Cuチャネル横型スピンバルブ素子を用いたFe3Si/Ge界面のスピン変換2015

    • Author(s)
      河野 慎、山東 浩平、沖 宗一郎、山田 晋也、金島 岳、浜屋 宏平
    • Organizer
      平成26年度スピン変換年次総会
    • Place of Presentation
      京都大学 桂キャンパス ローム記念館 (京都市左京区)
    • Year and Date
      2015-03-03 – 2015-03-04
  • [Presentation] 金誘起層交換成長法を用いた擬似単結晶Ge薄膜の形成2014

    • Author(s)
      東 英実、笠原 健司、工藤 康平, 岡本 隼人, 茂藤 健太、パク ジョンヒョク, 山田 晋也, 金島 岳, 宮尾 正信, 角田 功, 浜屋 宏平
    • Organizer
      第6回半導体フォーラム
    • Place of Presentation
      都城ロイヤルホテル (宮崎県都城市)
    • Year and Date
      2014-12-21
  • [Presentation] 単結晶Ge/Fe3Si構造を介したスピン伝導測定2014

    • Author(s)
      河野 慎、山東 浩平、沖 宗一郎、山田 晋也、金島 岳、浜屋 宏平
    • Organizer
      第19回「半導体スピン工学の基礎と応用」研究会 (PASPS-19)
    • Place of Presentation
      東京大学 本郷キャンパス 武田先端知ビル (東京都文京区)
    • Year and Date
      2014-12-15 – 2014-12-16
  • [Presentation] 2端子Co2FeSiスピン注入源を用いた純スピン流の生成2014

    • Author(s)
      黒川 孝幸、沖 宗一郎、山田 晋也、金島 岳、浜屋 宏平
    • Organizer
      第19回「半導体スピン工学の基礎と応用」研究会 (PASPS-19)
    • Place of Presentation
      東京大学 武田先端知ビル (東京都文京区)
    • Year and Date
      2014-12-15 – 2014-12-16
  • [Presentation] ホイスラー合金を用いたゲルマニウムスピントロニクス2014

    • Author(s)
      浜屋 宏平
    • Organizer
      東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究S「スピントロニクス学術研究基盤と連携ネットワーク」構築に向けて
    • Place of Presentation
      東京大学 本郷キャンパス 武田ホール (東京都文京区)
    • Year and Date
      2014-12-15
    • Invited
  • [Presentation] Germanium spintronics based on crystal growth technologies2014

    • Author(s)
      K. Hamaya
    • Organizer
      JICA-FRIENDSHIPプロジェクト
    • Place of Presentation
      Hyderabad (India)
    • Year and Date
      2014-12-01
    • Invited
  • [Presentation] メタル・ソースードレイン型スピントランジスタの創成に向けて2014

    • Author(s)
      浜屋 宏平
    • Organizer
      応用電子物性分科会・スピントロニクス研究会共同主催研究会「スピントロニクスの最前線」
    • Place of Presentation
      首都大学東京 秋葉原サテライトキャンパス (東京都千代田区)
    • Year and Date
      2014-11-25
    • Invited
  • [Presentation] Atomically Controlled Molecular Beam Epitaxy of Germanium-ferromagnetic Alloys for Spintronic Devices2014

    • Author(s)
      S. Yamada and K. Hamaya
    • Organizer
      Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG)
    • Place of Presentation
      Phuket (Thailand)
    • Year and Date
      2014-11-04 – 2014-11-07
    • Invited
  • [Presentation] Anisotropic Strain Engineering in Si/Ge Heterostructures2014

    • Author(s)
      K. Sawano
    • Organizer
      Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG)
    • Place of Presentation
      Phuket (Thailand)
    • Year and Date
      2014-11-04 – 2014-11-07
    • Invited
  • [Presentation] Correlation between amplitude of spin accumulation signals investigated by Hanle effect measurement and effective junction barrier height in CoFe/MgO/n+-Si junctions2014

    • Author(s)
      Y. Saito, M. Ishikawa, T. Tanamoto, T. Inokuchi, H. Sugiyama, K. Hamaya, N. Tezuka
    • Organizer
      59th annual Magnetism & Magnetic Materials Conference (MMM2014)
    • Place of Presentation
      Honolulu (USA)
    • Year and Date
      2014-11-03 – 2014-11-07
  • [Presentation] Influence of interface roughness in CoFe/MgO/n+-Si junctions on spin accumulation and spin transport signals2014

    • Author(s)
      M. Ishikawa, H. Sugiyama, T. Inokuchi, T. Tanamoto, K. Hamaya, N. Tezuka and Y.Saito
    • Organizer
      59th annual Magnetism & Magnetic Materials Conference (MMM2014)
    • Place of Presentation
      Honolulu (USA)
    • Year and Date
      2014-11-03 – 2014-11-07
  • [Presentation] 全単結晶ホイスラー合金三層構造の室温高品質形成2014

    • Author(s)
      平山 純也、谷川 昂平、河野 慎、笠原 健司、山田 晋也、浜屋 宏平
    • Organizer
      金属学会2014年秋期講演大会
    • Place of Presentation
      名古屋大学 東山キャンパス (愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2014-09-24 – 2014-09-26
  • [Presentation] 貼り合わせ法による高移動度歪みGOIの作製2014

    • Author(s)
      長嶋 智典,勝俣 洋典,浜屋 宏平,宮尾 正信,澤野 憲太郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学 (北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Thermally induced spin injection in Co2FeSi/Cu lateral spin-valve devices2014

    • Author(s)
      K. Yamasaki, S. Oki, S. Yamada and K. Hamaya
    • Organizer
      19th International Conference on Ternary and Multinary Compounds (ICTMC-19)
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2014-09-01 – 2014-09-05
  • [Presentation] Spin injection, detection and local magnetoresistance through Si at room temperature in ferrmagnet/MgO/Si lateral spin valves2014

    • Author(s)
      Y. Saito, M. Ishikawa, T. Inokuchi, H. Sugiyama, T. Tanamoto, N. Tezuka, K. Hamaya
    • Organizer
      IEEE International nanoelectronics conference, 2014 (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      北海道大学 (北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
    • Invited
  • [Presentation] Ge spintronics with Highly Spin-polarized Electrodes2014

    • Author(s)
      K. Hamaya
    • Organizer
      2014 Asia-Pacific Workshops on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2014)
    • Place of Presentation
      金沢市文化ホール (石川県金沢市)
    • Year and Date
      2014-07-01 – 2014-07-03
    • Invited
  • [Presentation] Atomically controlled heteroepitaxy of Ge on a ferromagnetic Heusleralloy for a vertical-type spin transistor2014

    • Author(s)
      S. Yamada, M. Miyao, and K. Hamaya
    • Organizer
      International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2014)
    • Place of Presentation
      Singapore (Singapore)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-04
    • Invited
  • [Presentation] Effect of Sn-doped Ge insertion layers on epitaxial growth of ferromagnetic Fe3Si Films on a flexible substrate2014

    • Author(s)
      H. Higashi, Y. Fujita, M. Kawano, J. Hirayama, S. Yamada, J.-H. Park, T. Sadoh, M. Miyao, and K. Hamaya
    • Organizer
      International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2014)
    • Place of Presentation
      Singapore (Singapore)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-04
  • [Presentation] Low-temperature grown Ge1-xSnx layers on a metallic sillicide2014

    • Author(s)
      M. Kawano, S. Yamada, M. Miyao, and K. Hamaya
    • Organizer
      International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2014)
    • Place of Presentation
      Singapore (Singapore)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-04
  • [Presentation] ホイスラー合金を用いたゲルマニウムスピントロニクス2014

    • Author(s)
      浜屋 宏平
    • Organizer
      第49回スピンエレクトロニクス専門研究会
    • Place of Presentation
      京都大学 桂キャンパス ローム記念館 (京都市左京区)
    • Year and Date
      2014-05-26
    • Invited
  • [Presentation] Siへのスピン注入とスピン伝導 ―スピンMOSトランジスタの実現を目指してー2014

    • Author(s)
      斉藤 好昭,石川 瑞恵,井口 智明,杉山 英行,棚本 哲史,浜屋 宏平
    • Organizer
      第49回スピンエレクトロニクス専門研究会
    • Place of Presentation
      京都大学 桂キャンパス ローム記念館 (京都市左京区)
    • Year and Date
      2014-05-26
    • Invited
  • [Presentation] An all epitaxial Fe3Si/FeSi/Co2FeSi trilayer grown by room-temperature molecular beam epitaxy2014

    • Author(s)
      J. Hirayama, K. Tanikawa, M. Kawano, S. Yamada, M. Miyao, and K. Hamaya
    • Organizer
      IEEE International Magnetics Conference (Intermag 2014)
    • Place of Presentation
      Dresden (Germany)
    • Year and Date
      2014-05-04 – 2014-05-08
  • [Presentation] Generation and detection of pure spin current in n-Ge using L21-ordered Co2FeSi electrodes2014

    • Author(s)
      K. Kasahara, Y. Fujita, S. Yamada, K. Sawano, M. Miyao, and K. Hamaya
    • Organizer
      IEEE International Magnetics Conference (Intermag 2014)
    • Place of Presentation
      Dresden (Germany)
    • Year and Date
      2014-05-04 – 2014-05-08

URL: 

Published: 2016-06-01  

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