2017 Fiscal Year Annual Research Report
Study on nanochemistry in latest nanofabrication materials using quantum beams
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25246036
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
古澤 孝弘 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (20251374)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 洋揮 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (00516958)
小林 一雄 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (30116032)
室屋 裕佐 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (40334320)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | 放射線、X線、粒子線 / 半導体超微細化 / シミュレーション工学 / 計算物理 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
半導体製造用リソグラフィでは、電離放射線による11nm 以下の大量生産の実現に向け開発が進められている。レジスト【微細加工材料】には、感度とともに、現像後のパターン側壁のラフネス【ラインエッジラフネス】を1nm 以下に抑えることが要求されるため、11nm 以下の加工の実現は、開かれた系に電離放射線を使って限られた量のエネルギーを局所的に与えた後、（拡散を伴う）化学反応を11nm 以下の領域で1nm 以下の精度で制御することを意味する。本研究は、極短パルス放射線による放射線誘起反応の時間分解計測に、極微電子線による空間分解計測を組み合わせた独自の手法により、最先端微細加工材料中のナノ空間で誘起される化学反応を解明し、11nm 以下の解像度による半導体大量生産を実現するための材料設計指針を得ることを目的に実施した。
本研究は①化学反応の時間分解計測からの化学種空間分布の時間変化抽出、②化学反応後の空間分解計測からの化学種空間分布の時間変化抽出、③化学反応のスパーオーバラップ計測（空間と時間の重なりの解析）、④シミュレーションコードの作製と解析の4つの手法により、ナノスケールの空間領域に誘起される化学反応の解析を行った。最終年度、化学増幅型レジストに関して、これまでの化学反応、化学種空間分布、プロセスに関して得られた知見を統括し、不均等7 nm解像度を実現するための電子線レジストの材料設計指針を得るととに、新規材料系の評価を行った。
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| Research Progress Status |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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