2013 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に係わるプラズマ科学の創成
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25286080
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
関根 誠 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80437087)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | プラズマ化学 / 凹凸 / レジスト / プラズマビーム |
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| Research Abstract |
プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に係わるプラズマ科学の創成を目指す上で、プラズマからのイオン・ラジカル・光のナノ揺らぎ発生に与える効果を解明することは重要である。そのため、これらのイオン・ラジカル・光を独立に制御して試料に照射できる反応性プラズマビーム装置を使った研究が有益である。この反応性プラズマビーム装置をもちいて試料を作製し、表面プローブ顕微鏡にてポリマー表面の凹凸形状の変化を観察してきた。さらに、試料として選んだポリマーの化学変化についてもＸ線光電子分光や赤外分光によって解析し、凹凸形状の変化過程が、どのように生じるのかについて解析した。
プラズマを発生させるガスを，新たにCl2 やHBr といったガスを使用し，ポリマーの凹凸形成過程にあたえるプラズマからのイオン・ラジカル・光の効果について解析を発展的に行うことができた．ポリマーの変質の起きる原因について、プラズマから入射されるイオン・ラジカル・光の個々の影響と相乗効果について調べることができ、凹凸周期に関してパワースペクトル密度解析をおこない、数100ｎｍレベル以下の凹凸はイオン照射を元に発生していることがわかった。一方、100nmレベル以上の凹凸は光照射や熱などに起因する、機械的な応力発生を元に凹凸形成していることがわかった。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
発展的に未実施であったガスで発生させたプラズマとの相互作用についての研究について発展的に取り組むことができている。
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| Strategy for Future Research Activity |
ポリマー変質の起きる原因を明らかにするため、定量的な解析を進めていく
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
本年度改造した装置を調整するための消耗品が発生することがわかったため、事前に調整の具合を確かめてから発注することにしたため
また、旅費として計上する
消耗品 ２００，０００円
旅費 ４００，９９０円
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