2015 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に係わるプラズマ科学の創成
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25286080
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
関根 誠 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80437087)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | プラズマ加工 / プラズマ化学 / 凹凸 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に関わるプラズマ科学の創成を目指す上で、プラズマからのイオン・ラジカル・光のナノ揺らぎ発生に与える効果を解明することを目的に進めている。そのため、プラズマビーム装置を用いて反応性プラズマ内で生じるイオン・ラジカル・光を独立に制御して、試料に照射し、試料表面で生じるイオン・ラジカル・光の個別ならびに相乗的な反応を解析した。試料表面は、表面プローブ顕微鏡による凹凸形状の変化の観察、X線光電子分光や赤外分光による化学組成・結合変化について解析した。これまで、フルオロカーボンガスについての研究を進めて来たが、一昨年度から新たにCl2やHBrガスを使用した反応性プラズマとの間で生じる表面反応解析に取り組んでいる。プラズマから表面に照射されるイオン・ラジカル・光の照射量を定量することができるようになり、凹凸周期に関するパワースペクトル密度解析の結果、サブナノメータレベルの凹凸形成にはイオン照射が影響し、100nmレベルのラフな凹凸形成には光照射や熱による機械的な変形に起因していることが見いだされた。Siのエッチングで使用されるHBrのプラズマ発光に着目し、真空紫外領域の紫外線発光のドーズに応じて化学構造変化が見られていて、それに関連して凹凸形成も見られることが分かっている。ナノスケールエンジニアリングした微細加工を実現するため温度変化の影響を最低限に抑えて、プラズマと表面の相互作用に関わる化学反応と材料損傷の定量解析が進められた。
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| Research Progress Status |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Causes of Carryover |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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